2012年1月27 日(金) 9:30-17:00

第142回 研究集会

開催場所

機械振興会館 地下3研修1号室

〒105-0011 東京都港区芝公園 3-5-8 http://www.jspmi.or.jp/kaigishitsu/access.html
テーマ IEDM 特集(先端 IEDM デバイス・プロセス技術)
参加費 分科会員 1,000 円、非会員 1,500 円

プログラム

1. (9:30-10:00) IEDM2011 概要
吉田英司
富士通研究所

2. (10:00-10:30) 超低消費電力LSI向けのSiN電荷捕獲層を有する新規Vth自己調整MISFET
辰村光介1, 川澄篤2, 川中繁3
1 (株) 東芝 研究開発センター LSI基盤技術ラボラトリ-
2 (株) 東芝 セミコンダクター&ストレージ社 半導体研究開発センター先端ワイヤレス・アナログ技術開発部
3 (株) 東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター 高性能CMOSデバイス技術開発部

3. (10:30-11:00) 超低電圧動作を可能にするチャネルエンジニアリング
藤田和司、鳥居泰伸、堀充明、王純志、L.Shifren**、P.Ranade**、中川雅樹*、岡部堅一 三宅利紀、大越克明、蔵前正樹、森年史、鶴田智也*、S.Thompson**、江間泰示
無印&* 富士通セミコンダクター株式会社、** SuVolta Inc.

4. (11:00-11:30) 100 億トランジスタのしきい値電圧ばらつき
水谷朋子,Anil Kumar,平本俊郎
東京大学生産技術研究所

昼食 11:30-12:30

5. (12:30-13:00) トライゲートナノワイヤMOSFETにおける自己発熱効果の系統的理解
太田健介、齋藤真澄、田中千加、中林幸雄、沼田敏典
東芝 研究開発センター

6. (13:00-13:30) 引張りひずみ及びMOS界面バッファ層による InxGa1-xAs MOSFETの移動度向上と
その物理的理解
金相賢1,横山正史1、田岡紀之1、中根了昌1、安田哲二2, 市川磨3、福原昇3、秦雅彦3、竹中充1、高木信一1
1 東京大学、2 産業総合研究所、3 住友化学

7. (13:30-14:00) 原子スイッチの現状と将来
青野正和、長谷川剛
物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

8. (14:00-14:30) 物理モデルに基づく高信頼性ReRAMの開発
魏志強、高木剛、神澤好彦、加藤佳一、二宮健生、河合賢、岡俊作、三谷覚、片山幸治、藤井覚、宮永良子、川島良男、三河巧、島川一彦、青野邦年
パナソニック株式会社 先行デバイス開発センター

休憩 14:30-14:40

9. (14:40-15:10) 光学モバイル用途に優れた 㻿㻻㻽(シリコン・オン・クォーツ)デバイス
永田敏雄1、金丸浩1、池上正美1、長友良樹2、半田正人3、中村里克3、内堀邦彦3
1 ラピスセミコンダクタ宮崎株式会社 生産本部 デバイス技術部
2 ラピスセミコンダクタ株式会社 生産本部 デバイス開発部
3 シチズンファインテックミヨタ株式会社 電子デバイス部

10. (15:10-15:40) High-K/Metal Gate MOSFETs における新しいレイアウト依存性
M.Hamaguchi, D.Nair1, D.Jaeger1, H.Nishimura, W.Li1, M-H.Na1, C.Bernicot4, J.Liang3, K.Stahrenberg3, K.Kim3, M.Eller3, K-C.Lee5, T.Iwamoto7, Y-W.Teh6, S.Mori, Y.Takasu, JH Park5, L.Song1, N-S.Kim6, S.Kohler4, H.Kothari4, J-P.Han3, S.Miyake7, H.V.Meer8, F.Arnaud4, K.Barla4, M.Sherony1, R.Donaton1, M.Celik4, K.Miyashita, V.Narayanan2, R.Wachnik1, M.Chudzik1, J.Sudijono6, J.-H.Ku5, J.D.Kim5, M.Sekine7, S.Johnson8, W.Neumueller3, R.Sampson4, E.Kaste1, R.Divakaruni1 and F.Matsuoka9
Toshiba Corporation, 1 IBM Semiconductor Research and Development Center, 2 IBM Research Division, T.J.Watson Research Center, 3 Infineon Technologies, 4 STMicroelectronics, 5 Samsung Electronics, 6GLOBALFOUNDRIES Singapore, 7 Renesas Electronics, 8 GLOBALFOUNDRIES, 9 Toshiba America Electronic Components Inc.

11. (15:40-16:10) 低電圧・極低電力 㻯㻹㻻㻿 ロジック回路における回路特性のデバイスパラメータ依存性の評価
更田裕司*, 安福正*, 飯田智士*, 高宮真*, 野村昌弘**, 篠原尋史**, 桜井貴康*
* 東京大学、 ** 半導体理工学研究センター

12. (16:10-16:50) 総合討論

17:00- 懇親会
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