2023年6月26日(月) 10:00〜15:30

第244回 研究集会

開催場所

広島大学 ナノデバイス研究所

※本研究会は現地開催の予定です(状況に応じてオンラインに変更する可能性があります).
テーマ MOSデバイス・メモリ・パワーデバイス高性能化-材料・プロセス技術
(電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究専門委員会との合同開催)
参加費 ・シリコン継続会員,シリコンテクノロジー特別会員・賛助会員 無料
・一般:シリテク分科会会員 3,300円
・一般:非会員 5,500円
・学生:会員 500円
・学生:非会員 1,100円
・学生(聴講のみ):会員・非会員 無料
主催 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会・表面・界面・シリコン材料研究委員会

プログラム

10:00 - 10:10
挨拶 & SDM研究会若手優秀発表賞表彰式( 10分 )

1) 10:10 - 10:50
[記念講演]表面ラフネス散乱の非線形モデルに基づく極薄膜nMOSFETのチャネル材料と面方位の最適設計
○隅田 圭・姜 旼秀・陳 家驄・トープラサートポン カシディット・竹中 充・高木信一(東大)

2) 10:50 - 11:30
[記念講演]極低温動作MOSFETのクーロン散乱移動度に対するバンド端準位の影響
○岡 博史・稲葉 工・飯塚将太・浅井栄大・加藤公彦・森 貴洋(産総研)

3) 11:30 - 11:50
自己組織化単分子膜を用いた極薄SiO2/SiC界面特性の評価
○奥平 諒(関西学院大)・川那子高暢(東工大)・細井卓治(関西学院大)

4) 11:50 - 12:10
FeナノドットへのSiH4照射がシリサイド化反応に及ぼす影響
○斎藤陽斗・牧原克典・谷田 駿・田岡紀之・宮﨑誠一(名大)

5) 12:10 - 12:30
熱酸化Zr/Hf多重積層構造の結晶構造および強誘電特性評価
○佐野友之輔(名大)・田岡紀之(愛知工大)・牧原克典(名大)・大田晃生(福岡大)・宮﨑誠一(名大)

−−− 12:30 - 13:30 休憩( 60分 ) −−−

6) 13:30 - 14:10
[依頼講演]オペランドレーザー励起光電子顕微鏡による強誘電体キャパシタの非破壊イメージングの開拓
○藤原弘和・糸矢祐喜・小林正治・バレイユ セドリック・辛 埴・谷内敏之(東大)

7) 14:10 - 14:50
[依頼講演]結晶相転移接合トランジスタの実証
○冨岡克広・勝見 悠・本久順一(北大)

8) 14:50 - 15:30
[招待講演]加熱その場高分解能TEMを用いた薄膜Si固相結晶化過程の原子スケールリアルタイム観察 ~ 多結晶Siチャネル高性能化に向けて ~
○手面 学・浅野孝典・高石理一郎・富田充裕・齋藤真澄・田中洋毅(キオクシア㈱)

★研究会終了後、広島大学・ナノデバイス研究所見学(希望者対象)

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