第4回研究会 (2008.9 名古屋)

■ナノデバイスに向けて純水を語ろう

日時:2008年9月4日
場所:名駅西柳パークビル(名古屋市)

「微小空間内の水の構造」山中弘次(オルガノ株式会社)
「枚葉洗浄におけるチャージアップの挙動」増本哲己(日本エスイーゼット株式会社)
「純水による不具合事例と改善事例」田中盛光(NECエレクトロニクス株式会社)
「機能水洗浄」森田博志(栗田工業株式会社)