2000年10月27日(金) 13:00-17:30
第22回 研究集会
| テーマ | デバイスの要求条件に対してリソグラフィはどこまで応えられるのか？－ArFはどこまでいけるか？F2の可能性は？－ |
|---|---|
| オーガナイザー | 岡崎 信次（超先端電子技術開発機構） 寺澤 恒男（日立製作所中央研究所） |
プログラム
１３：００－１４：００
1.デバイスからのリソグラフィへの要求
東芝
石内
１４：００－１４：３５
2.マスク技術の状況
SONY
大沼
１４：３５－１５：１０
3.超解像のためのArFネガレジスト
日立
福田、白石
１５：１０－１５：２５
休憩
１５：２５－１６：２５
4.次世代リソグラフィ
ニコン
亀山
１６：２５－１７：００
5.EPLの開発状況
Selete
山部
１７：００－１７：３０
6.NGLワークショップ報告
日立
寺澤