2026年2月27日(金) 13:30-17:45
第264回 研究集会「ナノ・マイクロファブケーション研究会」
開催場所
ハイブリッド開催
■現地開催場所：東京大学 / 本郷キャンパス工学部 4号館 3階 42講義室
■オンライン：Zoom予定
| テーマ | 半導体プラズマプロセスにおける最新の研究事情：低温HFエッチングとデータ駆動型プロセス |
|---|---|
| 共催 | 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 |
プログラム
■講演時間：３５分＋質問時間１０分（合計４５分）
(1) 13:30-13:35 開会挨拶
近藤 博基（研究委員長/九州大学）
(2) 13:35-14:20
[招待講演] TBA（低温HFエッチングに関する講演）、関根 誠（名古屋大学）
(3) 14:20-15:05
[招待講演] TBA（低温HFエッチングに関する講演）、田中 健大（ダイキン工業）
(4) 15:05-15:50
[招待講演] TBA（HFエッチングに関する講演）、今村 翼（日立製作所）
---（休憩）---
(5) 16:10-16:55
[招待講演] イオンー分子間反応衝突モデルとプロセスプラズマのシミュレーションへの応用、伝宝 一樹（東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ）
(6) 16:55-17:40
[招待講演] TBA（プラズマプロセスでのMLによる予測に関する講演）、Sukma Wahyu Fitriani（九州大学）
(7) 17:40-17:45
クロージング
(8) 18:00-20:00
懇親会（松本楼）
(1) 13:30-13:35 開会挨拶
近藤 博基（研究委員長/九州大学）
(2) 13:35-14:20
[招待講演] TBA（低温HFエッチングに関する講演）、関根 誠（名古屋大学）
(3) 14:20-15:05
[招待講演] TBA（低温HFエッチングに関する講演）、田中 健大（ダイキン工業）
(4) 15:05-15:50
[招待講演] TBA（HFエッチングに関する講演）、今村 翼（日立製作所）
---（休憩）---
(5) 16:10-16:55
[招待講演] イオンー分子間反応衝突モデルとプロセスプラズマのシミュレーションへの応用、伝宝 一樹（東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ）
(6) 16:55-17:40
[招待講演] TBA（プラズマプロセスでのMLによる予測に関する講演）、Sukma Wahyu Fitriani（九州大学）
(7) 17:40-17:45
クロージング
(8) 18:00-20:00
懇親会（松本楼）