（１）　はじめに＆会議全体レビュー
東京工芸大学　渋谷眞人教授

（２）　露光装置関連技術
（株）ニコン　今井基勝

（３）　光源関連技術
ギガフォトン（株）　溝口　計

（４）　レジストプロセス関連技術
東京エレクトロン（株）　北野淳一

（５）　レジスト材料関連技術
東京応化工業（株）　大森克実

（６）　レジスト材料関連技術
富士フイルム（株）　増田誠也