10月14日(水)ウェビナー
ADMETA Plus Symposium 2020(Advanced Metallization Conference 2020: Asian Session)
新型コロナ感染拡大の影響が不透明なことから、今年度の本会議を2021年に延期するかわりに、チュートリアルと招待講演及びショートプレゼンテーションからなるADMETA_Plus Symposium 2020を 10月14日(水)にオンライン(講演は日本語)にて開催いたします。
開催場所
オンライン (zoom webinar)
テーマ | 集積回路・実装分野の配線・電極に関係するデバイス・プロセス・材料技術全般 |
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主催 | ADMETA委員会 |
共催 | 公益社団法人 応用物理学会 |
お問い合わせ先 | ADMETAPlus2020 Symposium: Asian Session General Arrangements Chair Prof. S. YOKOGAWA E-mail: jimukyoku@admeta.org |
WebサイトURL | http://www.admeta.org/index.html |
プログラム
[チュートリアル]
●最先端デバイスの基礎(仮)
IBM Research 野上 毅
●装置技術からみた半導体技術市場動向(仮)
東京エレクトロン株式会社 早川 祟
●DRAMの基礎と最新技術動向
マイクロンメモリジャパン合同会社 濱田耕治
●ドドライエッチング技術の進展と今後の展望
ナノテクリサーチ 野尻 一男
[ショートプレゼンテーション]
●3~4件の最新技術に関する紹介を予定
[基調講演]
●Legends Led Leaders(未来を主導せよ)
株式会社荏原製作所 辻󠄀村 学
[チュートリアル]
●CMPの基礎と先端アプリケーション
キオクシア株式会社 松井 之輝
●ALD/CVDの基礎から最新応用(仮)
東京大学 霜垣 幸浩
●3次元集積・パッケージ技術(仮)
東北大学 田中 徹
●5G・車載デバイスと実装技術の動向(仮)
株式会社SBRテクノロジー 西尾 俊彦
●最先端デバイスの基礎(仮)
IBM Research 野上 毅
●装置技術からみた半導体技術市場動向(仮)
東京エレクトロン株式会社 早川 祟
●DRAMの基礎と最新技術動向
マイクロンメモリジャパン合同会社 濱田耕治
●ドドライエッチング技術の進展と今後の展望
ナノテクリサーチ 野尻 一男
[ショートプレゼンテーション]
●3~4件の最新技術に関する紹介を予定
[基調講演]
●Legends Led Leaders(未来を主導せよ)
株式会社荏原製作所 辻󠄀村 学
[チュートリアル]
●CMPの基礎と先端アプリケーション
キオクシア株式会社 松井 之輝
●ALD/CVDの基礎から最新応用(仮)
東京大学 霜垣 幸浩
●3次元集積・パッケージ技術(仮)
東北大学 田中 徹
●5G・車載デバイスと実装技術の動向(仮)
株式会社SBRテクノロジー 西尾 俊彦