今回31回目の開催となる ADMETAPlus は、最先端の配線技術全般を扱う会議として、MPUや各種メモリデバイスの実用化に永く貢献してきました。近年では、シリコンエレクトロニクスを超えた多様なデバイス分野において、低抵抗、高集積、高機能、低コスト、高信頼性を実現する配線技術の重要性は益々増しています。

本会議では、これらの要求に応えるべく、配線関連の材料、プロセス、設計、実装、装置、コスト、分析技術などにフォーカスし、様々な課題解決に向けて基礎から応用開発まで、産学官の研究者、技術者による総合的な議論を行います。本会議を通して、配線技術と関連分野の深耕と新展開を模索し、アジア半導体産業発展への寄与を目指します。なお、新型コロナウイルス感染症の影響を鑑みて、本年度はハイブリッド開催を予定しています。

ADMETAPlus 2022 実行委員長 町田 英明　気相成長(株)