第155回 研究集会
テーマ | 配線・実装技術と関連材料技術 |
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参加費 | 会員 1,000円、非会員 2,000円 |
共催 | 電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM) |
プログラム
--- 開会の挨拶 ( 5分 ) ---
(1) 10:05 - 10:45
排熱TSVへ向けたナノカーボン材料の熱特性評価
○川端章夫・二瓶瑞久・村上 智・佐藤元伸・横山直樹(産総研)
(2) 10:45 - 11:25
CuSn/InAu マイクロバンプにより誘起される3D-LSI の機械的応力と局所変形
○マリアッパン ムルゲサン・小柳光正(東北大)
(3) 11:25 - 12:05
Line-Edge Roughnessを考慮した微細金属配線のモンテカルロ・シミュレーション(仮題)
○来栖貴史・谷本弘吉・和田 真・磯林厚伸・梶田明広・青木伸俊・豊島義明(東芝)
--- 昼食 ( 65分 ) ---
(4) 13:10 - 13:50
原子移動型スイッチを使ったスマート配線技術と低電力再構成回路への応用
○多田宗弘・阪本利司・宮村 信・伴野直樹・岡本浩一郎・井口憲幸・波田博光(LEAP)
(5) 13:50 - 14:30
配線構造体内のCu/絶縁膜の局所変形と界面破壊現象(仮題)
○神谷庄司(名工大)
(6) 14:30 - 15:10
白色LED向け高放熱性ウエハーレベル・チップスケール・パッケージの開発
○秋元陽介・小島章弘・島田美代子・富澤英之・古山英人・小幡 進・樋口和人・杉崎吉昭・柴田英毅(東芝)
--- 休憩 ( 15分 ) ---
(7) 15:25 - 16:05
高密度チップ集積を実現する微細再配線の高信頼化技術
○神吉剛司・池田淳也・須田章一・小林靖志・中田義弘・中村友二(富士通研)
(8) 16:05 - 16:45
無電解めっき法を用いた高アスペクト比TSVへのCuシード層形成
○井上史大・新宮原正三(関大)・ハロルド フィリップセン(IMEC)
--- 閉会の挨拶 ( 5分 ) ---