■開会の辞 13:00-13:05

■若手研究者13:05-15:25（質疑込み35分）
京大　津田 博隆　Siエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用のモデリングと形状進展シミュレーション
京大　松田 朝彦　プラズマからのイオン照射ダメージと光学的評価手法
阪大　伊藤 智子　プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明
名大　宮脇 雄大　ガスデザインに基づいた高選択絶縁膜エッチング実現の検討

（休憩15：25-15：35）

■特別講演■　15:35-16:20（質疑込み45分）
慶應義塾大 真壁 利明　マイクロセル、大気圧プラズマのシミュレーション

■先端プラズマ応用技術■　16：20-17：30（質疑込み35分）
東工大 野崎 智洋　シリコンインクおよび有機・無機ハイブリッド太陽電池の開発
ＴＥＬ 守屋 剛　　ドライエッチング装置　震災からの復興

（総合討論）

■閉会の辞