2016年2月26日(金) 13:00～18:00
第190回 研究集会
シミュレーション技術は、近年のシリコンテクノロジーの発展に必要不可欠です。シリコン単結晶成長はもちろんのこと、高純度ポリ原料作製工程やウェハのアニール、洗浄プロセスやデバイスで必要となる酸化膜との界面に至るまで、シミュレーションによる解析が行われ、最適化が図られています。本研究集会では、結晶成長からデバイスプロセスに至るまでの領域の上記課題に関わる学術機関およびシリコンメーカーの研究者に最新の成果をご紹介いただきます。本研究集会を通じて、シミュレーション技術の重要性を学び、次世代半導体デバイス対応のシリコンナノテクノロジーの展望について議論したいと考えています。多くの方々のご参加をお待ちしております。
開催場所
学習院大学 中央棟301教室
《交通》JR目白駅より徒歩1分| テーマ | Si結晶成長・プロセスに関わるシミュレーション |
|---|---|
| 参加費 | 分科会員2,000円，応物・協賛会員2,000円，その他4,000円 |
| 主催 | 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 |
| 協賛 | 日本学術振興会第145委員会 |
| 企画 | 応物シリコンテクノロジー分科会研究委員会 表面・界面・シリコン材料研究委員会 |
| お問い合わせ先 | 太子敏則（信州大）TEL: 026-269-5383,e-mail:taishi@shinshu-u. ac.jp 泉妻宏治（グローバルウェーハズ・ジャパン）TEL:025-256-3215,e-mail: izunome@sas-globalwafers.co.jp |
プログラム
13:00--13:05 はじめに
(1) 13:05--13:55
シーメンスプロセスでの多結晶シリコン結晶成長解析 ○向山裕次（STR Japan）
(2) 13:55--14:35
シリコンウェーハの熱処理シミュレーション ○青木竜彦（グローバルウェーハズ・ジャパン）
(3) 14:35--15:15
シリコンエピ成長シミュレーションの活用 ○羽深等（横浜国大院工学研究院）
休憩 15:15--15:30
(4) 15:30--16:10
スピン洗浄装置の流体シミュレーション ○山崎修（芝浦メカトロニクス）
(5) 16:10--16:50
Si/SiO2 界面 ～酸化、電子状態、欠陥～ ○金田千穂子（富士通研究所）
(6) 16:50--17:30
シリコン結晶における高温酸化による空孔注入機構の検討 ○中村浩三（岡山県大地域共同研究機構
17:30--17:35 閉会にあたって
18:00 懇親会(当日受付：参加費4,000円)