2016年2月27日(土) 13:00～17:30
第191回 研究集会
| テーマ | 接合技術の新展開 |
|---|---|
| 参加費 | Siテクノロジー分科会会員 2000円，非会員 4000円 |
| オーガナイザー | 中島良樹(日新イオン), 伊藤裕之(AMAT), 山口直(ルネサス), 柴田聡(パナソニック) |
| 主催 | 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 |
| 企画 | シリコンテクノロジー分科会ナノ・接合技術研究会 |
| お問い合わせ先 | パナソニック株式会社 先端研究本部 柴田聡 shibata.satoshi007@jp.panasonic.com |
プログラム
13：00 ～ 13：10
筒井一生様（東工大）開会の挨拶
13：10 ～ 13：40
若林整様（東工大）「高性能SoC向けCMOSデバイス技術動向と将来技術」
13：40 ～ 14：10
松波弘之様 「パワー半導体SiC技術の進展と今後」
14：10 ～ 14：40
寺部一弥様（NIMS）「固体内のイオン移動を利用した界面ナノアーキテクトニクス」
14：40 ～ 15：10
鵜野浩行様（住重試験検査㈱）
「高エネルギーイオンを用いた半導体製造技術－エネルギー範囲23MeVまでの水素、ヘリウムイオン－」
15：10 ～ 15：30 休憩
15：30 ～ 16：00
黒田理人様（東北大）「CMOSイメージセンサの高速化・高感度化・広光波長帯域化技術」
16：00 ～ 16：30
江利口浩二様、 斧高一様（京都大）
「プラズマプロセス誘起ダメージによるデバイス特性劣化の包括的モデル」
16：30 ～ 17：00
采山和弘様（サクラクレパス）
「プラズマインジケータの開発 ～プラズマ処理効果の可視化ツールを目指して～」
17：00 ～ 17：10 閉会の挨拶 水野文二（パナソニックFS、接合技術委員会委員長）
17：30 ～ 懇親会（当日受付）4000円 地中海バール“agmo” 宝塚大学すぐ横
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