13:00-13:05　開会挨拶　名古屋大学 近藤 博基（研究委員会委員長）

◆ プラズマ誘起欠陥
13:05-13:35
シリコンにおけるプラズマ誘起欠陥の発生と修復～低欠陥高品質デバイスの作製に向けて～
産総研　布村 正太

13:35-14:05
水素プラズマ曝露により Si 基板中に形成される潜在欠陥のコンダクタンス法を用いた解析
京大　久山 智弘

◆カーボンマスク
14：05-14:35
カーボンハードマスク CVD と RIE の挑戦
アプライド・マテリアルズ　越澤 武仁

14：35-15:05
ALEプロセスでのダメージ最小化に向けたイオンエネルギー分布のオンウエハモニタリングと制御
ソニー　平田 瑛子

（休憩）

◆プラズマ診断・モデリング
15:25-15:55
発光分光計測（OES）を用いたプラズマパラメータの診断
東工大　赤塚 洋

◆イットリアコーティングのプラズマ耐性
15：55-16:25
エアロゾルデポジション法で作製したイットリアコーティングのプラズマ腐食挙動
TOTO　芦澤 宏明

16:25-16:55
YOFコーティングのプラズマ耐性
東北大　後藤 哲也

16:55-17:00　クロージング

研究会終了後、懇親会