第8回 研究集会
ポーラスシリコンの可視域ＰＬおよびＥＬが９０年から９１年にかけて相次いで報告されて以来、シリコンナノ微結晶の発光への関与が多目的に解析され、量子閉じ込めに関係した光学現象として、この問題の普遍性が明らかになってきた。また陽極酸化以外の手法によるナノクリスタル、量子ドットの形成や表面終端など、材料・プロセス技術の研究が多様な広がりを見せている。
素子化のかぎとなるＥＬについては、最近、ポーラスシリコンダイオードで１％を超える外部量子効率が達成された。モノリシック光集積を念頭においた光共振器や光導波路などの研究も着実に進展している。
さらに、発光の研究と並行して、非線形光学応答、表面化学効果によるバイオ材料としての活性、高電界輸送による冷電子放出、ナノ微結晶のチャージングによる不揮発性メモリ効果、完全空乏化による熱音響効果など、シリコンナノ微結晶系に特有と見られる諸機能が見つかっている。
材料・プロセス・素子技術において新局面が開かれつつあるこのような状況をとらえ、今回の研究会では、種々の系や発光波長帯を対象として、シリコン発光現象の全体像を明らかにし、研究の意義、今後の課題などについて議論を深め、研究のさらなる活性化につなげていきたい。具体的には、新材料・プロセス、高効率ＥＬ素子、発光に関連した新規機能、の３点に焦点を当ててプログラムを組む予定である。多方面の方々のご参加をお待ちします。
| テーマ | 光るシリコン ―プロセス･素子技術の新展開― |
|---|---|
| オーガナイザー | 越田 信義（東京農工大学） |
プログラム
１０：００～１０：１０
開会の挨拶
東京農工大学
越田信義
１０：１０～１０：３５
シリコン原子鎖の光物性－集団物性から一本鎖の物性へ－
1)湘南工科大学、2)NTT
1)松本信雄、2)江幡啓介、2)古川一暁
１０：３５～１１：００
アモルファス中シリコン微結晶の量子サイズ効果
1)理化学研究所、2)筑波大学
1)2)野村晋太郎、1)趙新為、1)飯高敏晃、1)菅野卓雄、1)青柳克信
１１：１０～１１：３５
SiGe/Si量子構造の発光特性
東京大学
宇佐美徳隆、白木靖寛
１１：３５～１２：００
Erドープシリコンの発光におけるエネルギー伝達機構と酸素添加の効果
電気通信大学
木村忠正、中ノ瀬貴生、戸田博之、斉藤理一郎、一色秀夫
１３：３０～１３：５５
熱酸化および陽極酸化処理を行ったポーラスシリコンからの発光
1)電気通信大学、2)東海大学
1)庄善之、1)野崎眞次、1)森崎弘、2)岩瀬満雄、2)和泉富雄
１３：５５～１４：２０
シリコン量子ドットからの発光
1)日本大学、2)広島大学
1)中田仁志、1)村山和郎、2)宮崎誠一、2)広瀬全孝
１４：２０～１４：４５
Si超微粒子の発光と常磁性欠陥
1)東海大学、2)日立サイエンスシステムズ、3)電気通信大学
1)和泉富雄、1)佐藤慶介、1)岩瀬満雄、2)上野武夫、2)矢口紀恵、3)野崎真次、3)森崎弘
１５：００～１５：２５
ナノ構造シリコン半導体を利用した発光・非線形光学素子
1)科学技術振興事業団、2)東京農工大学
1)松本貴裕、2)高橋森生、2)鳥海裕一、1)戚発継、1)舛本泰章、2)越田信義
１５：２５～１５：５０
超薄膜Siナノクリスタル層を用いた発光素子の特性
(株)東芝
藤田忍
１５：５０～１６：１５
Efficient Porous Silicon Electroluminescence Device
東京農工大学
Bernard GELLOZ、高橋勇一、越田信義
１６：１５～１６：４０
自己組織化形成シリコン量子ドットからの発光特性
広島大学
宮崎誠一、江藤和宣、廣瀬全孝
１６：５０～１７：３０
パネルディスカッション
懇親会：(１７：４０～)