2022年2月4日(金) 09:00-14:25
第232回 研究集会
開催場所
オンライン開催
テーマ | 配線・実装技術と関連材料技術 |
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参加費 | シリテク分科会会員 無料 その他 5,500円 学生 1,100円 |
主催 | 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 |
共催 | 電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM) |
お問い合わせ先 | 山梨大・近藤英一 kondoh@yamanashi.ac.jp |
プログラム
--- 09:00 開会 ---
(1) 09:05
[招待講演]タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価
○百瀬 健・金 泰雄・鄧 玉斌・出浦桃子(東大)・
松尾 明・山口述夫(キヤノンアネルバ)・霜垣幸浩(東大)
(2) 09:45
[招待講演]SAMを用いた次世代ダマシンインテグレーション
○永井洋之・岩下光秋・菊地裕樹(TEL)・河崎洋章・ギアナ パッタナイク(TTCA)・
藤田啓一(TKL)・岩井和俊(TEA)・小松裕之・尾崎優貴(JSR)
--- 10:25 休憩 ( 15分 ) ---
(3) 10:40
[招待講演]低温焼結塗布型シリカを用いた印刷エレクトロニクス
○三成剛生(物材機構)・孫 晴晴(鄭州大)・李 玲穎(物材機構)・
李 万里(江南大)・リュウ シューイン(鄭州大)
(4) 11:20
[招待講演]3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー
中澤圭一・○山元純平・藤井宣年・上原睦雄・平松克規・熊野秀臣・
森 茂貴・岡本晋太郎・清水暁人・馬場公一・大沼英寿・松本 晃・
財津光一郎・田谷圭司・平野智之・岩元勇人(ソニーセミコンダクタソリューションズ)
--- 12:00 昼休み ( 60分 ) ---
(5) 13:00
[招待講演]超伝導量子コンピュータ ~ スケーラブルな超伝導素子設計と課題 ~
○田渕 豊(理研)
(6) 13:40
[招待講演]ダイヤモンドスピン量子コンピュータに向けた3次元集積技術
○石原良一・Jeffrel Hermias・Shuichang Yu・King Y. Yu・Ye Li・
Maurice van der Maas・Salahuddin Nur(デルフト工科大)・
岩井俊樹・宮武哲也・河口研一・土肥義康・佐藤信太郎(富士通研)
--- 14:20 閉会 ( 5分 ) ---
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