第223回研究集会の詳細はこちら

開催場所　東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室（419号室)
日時　2020年2月14日(金)
テーマ　「プラズマプロセスにおけるナノ加工精度とダメージ制御」