日時:2016年3月18日(金) 18:00~20:00
場所:CLANN(自由が丘)
参加人数:60人
資料:案内パンフレット

日時:2016年3月18日(金) 13:00~17:30
会場: 慶應義塾大学 日吉キャンパス(来往舎)
資料:案内パンフレット
(1)13:00~13:15「開会の辞」吉水康人(東芝)
(2)13:15~13:45「各発表者から1分間のショートプレゼン」
(3)14:00~16:20「ポスターセッション」
(4)16:30~16:45「表彰」「写真撮影」
(5)16:45~17:00「閉会の辞」
本ポスター発表展にて,優秀講演賞には近藤智貴氏(慶應義塾大学)が選ばれました.また本会において,貢献賞を冨田寛氏(株式会社東芝),岩元勇人氏(ソニー株式会社)に授与しました.ポスター発表展終了後には第20回カサロス(懇親会)を開催しました.
日時:2016年2月3日(水) 13:30~17:00
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
基調講演 有馬健太准教授(大阪大学)
「極限レベルの表面創成プロセスとクリーン化技術」
ワークショップ 永渕琢也氏(日本インテグリス)
日時:2015年11月27日(金) 10:00~17:00
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
基調講演 泉克文氏(泉特許事務所所長)
「暗黙知の見える化」
総括ワークショップ
日時:2015年10月2日(金) 14:00~17:00
場所:関東化学株式会社 本社
プログラム:
佐藤正秀准教授(宇都宮大学 物質科学専攻)
「ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術」
ディスカッション
本講演会は2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会にてシンポジウム「界面ナノ電子化学 進化する半導体ウェットプロセス ~シリコンから化合物まで~」として開催されました.
日時:2015年9月13日(水) 13:15~17:45
会場: 名古屋国際会議場
「オープニング:界面ナノ電子化学研究会の意義」荒木浩之(SCREEN SPE)
招待講演「パワーを制する者が未来を制する-Siも、SiCも、GaNも-」湯之上隆(微細加工研究所)
招待講演「ナノ界面とマクロ挙動を繋ぐ感性と科学とシミュレーション」黒田孝二(京都工芸繊維大)
招待講演「SiCの洗浄技術について」木下博之(京都工繊大)
招待講演「溶融塩電気化学プロセスによる「炭素めっき」」辻村浩行(アイ’エムセップ)
「シリコン酸化膜の枚葉洗浄によるチャージアップ挙動」川上雅之(オルガノ)
「SiO2の固体壁面における水およびアルコールの吸着挙動の分子動力学解析」中岡聡(阪大工)
「ジャパンソニックでの微細化洗浄の課題」山本義治(ヤマトテクノス)
「IPA中極微量金属汚染の分析手法」伊藤雄大(東京エレクトロン)
「クロージング:シンポジウム閉会にあたって」吉田勇喜(関東化学)
日時:2015年8月28日(金) 13:30~17:00
場所:東京エレクトロン株式会社 本社
プログラム:
講演 川端克彦氏(イアス)
「IPA中のメタル分析のための前処理方法」
講演 溝口勝男氏(アジレント・テクノロジー)
「IPA中のメタル分析のためのICPMS分析技術」
ワークショップ 斉藤美佐子氏(東京エレクトロン)
日時:2015年8月20日(木) 14:00~17:00
場所:オルガノ株式会社 本社
プログラム:
星野勝義教授(千葉大学大学院 融合科学研究科)
「絶縁性高分子フィルムの摩擦帯電現象について」