活動報告書

平成１５年度事業報告

第4期応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第2回幹事会議事録

日時：　平成15年3月28日（応物第2日目）17:30-19:30
場所：　神奈川大学横浜キャンパス20号館1F-103号室

出席者（敬称、所属略）：小柳、宮尾、最上、水野、水島、坂本、羽路、寺澤、藤岡、一木、小川、宮崎、平本、稲葉、久本、高木、財満、須田、広瀬、野平、益、内田、近藤、小田中、松澤、西、岩井、筒井、芝原、栗野、大内、小田、山崎

１. 配布資料確認

２. 前回議事録確認

３. 平成14年10月～15年3月開催研究集会報告

各委員長から開催報告があった。

• 第44回研究集会２００２年９月３０日～１０月１日「プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般」
• 第45回研究集会２００２年１１月１５日「デバイス特性バラつきの物理とモデリング」
• 第46回研究集会２００２年１１月２２日「量子サイズシリコン系素子－新機能と応用－」
• 第47回研究集会２００３年１月１７日「次世代LSI開発アプローチのための評価技術」
• 第48回研究集会２００３年２月「最先端CMOS技術(IEDM報告特集)」
• 第49回研究集会２００３年２月７日「低誘電率層間膜、配線材料および一般」SDM委員会と共催
• 特別研究会2003年1月24日「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」

野平業務幹事より、研究会の開催時期が近いと参加者が減る傾向にある、研究会日程を調整して1ヶ月1回くらいが望ましい、とのコメントがあった。

４. 会計報告

水野会計幹事より、本年度の会計報告があり、了承された。詳細は後日、水野会計幹事より電子メールで幹事に連絡することとなった。

５. 応物シリコン分科会信認投票結果および常任幹事・幹事承認

小川庶務幹事より第５・６期幹事の信認投票結果について報告があり、了承された。
幹事の委任状について質問があったが、個別に対応することとなった。

６. 平成15年度分科会新体制について

小柳幹事長より、次期幹事長の候補者検討の経緯等につき説明があり、九州大学の宮尾正信先生にお願いすることが了解された。続いて常任幹事、委員長の候補者について説明があり、了承された。
新幹事長の宮尾先生よりご挨拶があった。良い研究会を行うことが目的であって、なるべく事務処理は簡素化したい旨の発言があった。

７. 平成15年度の研究集会の開催予定について

各委員長より研究会開催予定について説明があった。

• リソグラフィ、岡崎委員長7月
• ＵＬＳＩ　　　7月上旬、ＶＬＳＩシンポジウム特集
• 1月中旬、ＩＥＤＭ特集
• Si新機能、5月、薄膜トランジスタ関係
• 表面、井上委員長、6月26,27日、広島、ＳＤＭと共催。秋ごろ、材料で行う予定
• 配線、益委員長、1月、ＳＤＭと共催、配線技術モデリング研究委員会、小田中委員長、9月、ＳＤＭ共催
• 11月独自の研究会を予定
• 3月、春の応用物理学会でシンポジウム。
• 接合技術委員会、芝原先生、6月24日、大阪、ＳＥＭＩと共催。
• Siナノテクノロジー、関係者不在。

（４月１４日付記）小田委員長から下記の予定の返答があった。
第50回シリコンテクノロジー分科会研究集会「半導体ブレイクスルー技術と次 世代TFT」
日時：平成１５年５月２６日（月）場所：東京工業大学大岡山キャンパス本館1階Ｈ111講義室
１１月下旬、テーマ、場所は未定

８. 国際会議 ADMETA2003開催予定と共催について

小柳幹事長より資料をもとに説明があった。9月29，30日。共催が了承された。
また、宮尾次期幹事長より、既に共催実績のある国際会議との共催については、毎回幹事会に諮らずに共催を認めたいとの意見が出され、了承された。

９. サーバーの移行と電子出版

須田幹事より、サーバーの不具合と運営方法の変更等について資料に基づき説明があった。
ホームページ、入会退会管理、継続会員募集・管理および受付リストについては、現在試行通りに変更することとした。不参加の継続会員・特別会員への稿集の送付については、現行通りとする。予稿集の電子出版については、変更案通り、会員共通のパスワードを用いることとした。
パスワードの変更・連絡は、年1回程度とすることにした。非会員の参加については、原則として、倍額で参加させることで試行することにした。非会員の参加費については、他の分科会の運用を調査し、倍額で不具合がないかを調査することとした。

１０. メーリングリストについて

野平幹事が継続して対応して頂けることになった。

１１. 幹事長・幹事の選出方法について

分科会全会員に、信任投票及び種々の連絡は以降電子メールでする旨をはがきに明記し通知を行い周知徹底することとした。また、入会案内にも、明記することにした。幹事については、これまで通り、公募（自薦も他薦も可）もすることになった。

１２.所属表の更新

変更のある場合は、庶務幹事に連絡してほしい旨の連絡があった。

１３.会議開催案内等

財満Si機能研究委員会委員長より、ACSIN-4の開催案内があり、分科会のメーリングリストの利用の申し出があり、承認した。また、IWDTF-04の開催案内があり、協力要請があった。また、応物本会の主催申請する際に分科会からサポート要請があり、承認した。

１４. 研究活性化支援金について

野平幹事より、書式等の説明があり、積極的に流用してほしい旨の連絡があった。

１５. 研究会会計報告について

ホームページに掲載することとした。研究会冊子にも年1回掲載することにした。小川庶務幹事から赤澤業務幹事に依頼する。

１６. その他

小柳先生から、幹事長退任の挨拶があった。

以上

第５期応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第１回幹事会議事録

日時：　平成15年8月31日（応物第2日目）17:30-18:30
場所：　福岡大学七隅キャンパスA棟6F-A602号室

出席者（敬称、所属略）：宮尾、小柳、水野、水島、坂本、羽路、寺澤、藤岡、一木、小川、宮崎、堀内、渋谷、前田、高木、財満、井上、野平、金田、内田、近藤、古澤、佐野、筒井、栗野、黒井、小田、三木、山田、山部、服部

１. 配布資料確認

２. 第４期シリコンテクノロジー分科会第２回議事録確認

３. 平成15年4月～15年8月開催研究集会報告

各委員長から開催報告があった。

４. 会計報告

水野会計幹事より、平成15年1月～15年8月の会計報告があり、了承された。

５. 平成１５年度後半の研究集会について

小川庶務幹事、各委員長から開催予定・準備状況の説明があった。

６. 第５１回春季応用物理学会シンポジウムについて

金田幹事より、絶縁膜関係のシンポジウムを提案する旨の説明があり、承認された。

７. 非会員の参加費について

坂本研究集会幹事より、資料に基づき、試行状況について説明があった。半年間の試行で、特に支障はなかったので、今後は、正式に規定することになった。ホームページに、会員登録を奨励する文面を掲載することにした（試験運用）。

８. 電子出版セキュリティーの問題について

藤岡HP会員データ業務幹事より、パスワードの連絡に関する説明があり、審議の結果、通常の電子メールで連絡することにした。アップロードの頻度については、試験的に、およそ３ヶ月毎とすることにした。

９. 分科会幹事長会議報告

宮尾幹事長より、以下の４点の連絡があった。

• 会計関連の日程について、１０月１８日：一次予算案提出締め切り、１１月１日：２次予算案提出締め切りとなった。１１月１２日：必要に応じて３次予算の提出。
• A会員（分科会のみの会員）の経費について、本会事務経費（約５千円／人）の分科会側の負担増が検討されだしている（案：現状の１０００円を２０００円に増）。
• 代議員として、筒井先生を推薦した。
• 講演会について、講演企画委員会において、ナノテクノロジーのセッション（分科・分類）が検討されている。（その後、理事会＠９／８に於いて、合同セッションを検討したいとの説明あり。）

１０. その他

• 小柳幹事より、SSDMについて、論文投稿の状況報告と参加勧誘があった。
• 水野幹事より、IWJT開催準備を再開した旨の報告があった。
• 高木幹事より、幹事改選の日程について、コメントがあった。

以上

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