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受賞者一覧 (所属は受賞時)

第1回 (2009年度)

規程[PDF]

論文賞

Takahiro Kozawa (古澤孝弘) and Seiichi Tagawa (田川精一), Osaka Univ., “Theoretical Study on Chemical Gradient Generated in Chemically Amplified Resists Based on Polymer Deprotection upon Exposure to Extreme Ultraviolet Radiation” Applied Physics Express, Vol. 2, 056503 (2009).

研究奨励賞

安藤　裕一郎　九州大学

研究奨励賞

辻　博史　大阪大学

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