研究集会
1999年度
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主催 第13回 研究集会
日 時:1999年11月12日(金) 9:40-17:50場 所:慶応義塾大学(日吉キャンパス 図書館地下AVホール)テーマ:シリコンウェーハの表面・界面 -
主催 第12回 研究集会
日 時:1999年10月19日 13:00-17:00場 所:武蔵工業大学 尾山台キャンパス メモリアルホールAテーマ:第3回ミニ学術講演会 -
主催 第11回 研究集会
日 時:1999年7月23日(金) 9:15-17:00場 所:武蔵工業大学(定員100名) 312教室テーマ:光リソグラフィ技術の限界とその突破 -
主催 第10回 研究集会
日 時:1999年6月2日(水) 10:00-17:10場 所:大阪大学コンベンションホールテーマ:ポリメタル及びメタルゲート/高・強誘電体 -
主催 第9回 研究集会
日 時:1999年5月26日(水) 9:00-17:40場 所:東京工業大学 大岡山キャンパス 西Ⅲ号館2階テーマ:第2回ミニ学術講演会 -
主催 第8回 研究集会
日 時:1999年4月23日(金) 10:00-17:30場 所:東京農工大学 工学部 11号館5階 多目的会議室テーマ:光るシリコン ―プロセス・素子技術の新展開― -
主催 第7回 研究集会
日 時:1999年2月25日(木) 10:00-17:00場 所:東京大学生産技術研究所第1、2会議室テーマ:シリコンフロンティアデバイス