研究集会
2026年度
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共催 第265回 研究集会「多層配線システム研究委員会」
日 時：2026年3月13日(金) 11:00-18:10場 所：ハイブリッド開催
■現地開催場所：金沢工業大学大学院 虎ノ門キャンパス
〒105-0002 東京都港区愛宕1-3-4 愛宕東洋ビル12階テーマ：配線・実装技術と関連材料技術 -
主催 第264回 研究集会「ナノ・マイクロファブケーション研究会」
日 時：2026年2月27日(金) 13:30-17:45場 所：■現地開催場所：東京大学 / 本郷キャンパス工学部 4号館 3階 42講義室
■オンライン：なしテーマ：半導体プラズマプロセスにおける最新の研究事情：低温HFエッチングとデータ駆動型プロセス -
共催 第263回 研究集会「IEDM特集」
日 時：2026年1月28日(水) 13:00-17:25場 所：ハイブリッド開催
■現地開催場所：金沢工業大学虎ノ門キャンパス（先着100名）
※東京都港区愛宕1-3-4 愛宕東洋ビル 13階1301室
※会場収容人数の制約もあり現地参加のみ先着順といたします。
■オンライン：Zoom予定テーマ：IEDM特集