研究集会
2002年度
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主催 第46回 研究集会
日 時：2002年11月22日(金) 9:30-17:30場 所：東京農工大工学部 11号館 5階 多目的会議室テーマ：量子サイズシリコン系素子－新機能と応用－ -
主催 第45回 研究集会
日 時：2002年11月15日(金) 13:00-17:05場 所：機械振興会館 地下3階 第1研修室テーマ：デバイス特性バラつきの物理とモデリング -
主催 第44回 研究集会
日 時：2002年9月30日、10月1日 10:00-15:45, 10:00-15:05場 所：機械振興会館 地下3Ｆ 研修2号室テーマ：プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 -
主催 第43回 研究集会
日 時：2002年8月21日(水) 9:45-17:30場 所：東洋大学 白山キャンパス 白山スカイホールテーマ：最先端ＣＭＯＳ技術 -
主催 第42回 研究集会
日 時：2002年7月26日(金) 12:30-17:30場 所：学習院大学南2号館200教室テーマ：シリコン結晶特集 - 大口径、高品質シリコン基板とその評価技術の動向 -
主催 第41回 研究集会
日 時：2002年7月15日(月), 16日(火) 10:00-17:00, 10:00-17:30場 所：東京大学弥生講堂テーマ：次世代リソグラフィ(NGL)ワークショップ2002 -
主催 第40回 研究集会
日 時：2002年6月20日(木), 21日(金) 13:00-17:20, 9:00-15:00場 所：広島大学 学士会館２階レセプションホールテーマ：100nm技術ノードにおける絶縁膜、小特集：絶縁膜評価技術 -
主催 第39回 研究集会
日 時：2002年6月18日(火) 13:30-16:30場 所：グランキューブ大阪10階1008会議室テーマ：極浅接合形成技術: ITRS2001ロードマップを踏まえて -
主催 第38回 研究集会
日 時：2002年2月5日（木） 13:00-17:15場 所：東京大学山上会館テーマ：シリコン基板を越えて -
主催 第37回 研究集会
日 時：2002年1月31日(木) 11：00-17：30場 所：東京工業大学大岡山キャンパス本館Ｈ111講義室テーマ：プラズマナノプロセス