歴代組織

1999年度第1期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

服部健雄（武蔵工大）

副幹事長

今井和雄（NTT）

常務幹事

会計

河合義夫（NTT）

庶務

廣瀬和之（宇宙研）
内田恭敬（帝京科学大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

岡崎信次（ASET）

幹事

寺澤恒男（日立）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

小柳光正（東北大）

幹事

鳥海明（東芝）
池田浩一（ソニー）
奥村喜紀（三菱電機）
川浦久雄（NEC）
高木信一（東芝）
水野文二（松下電器）

Si新機能デバイス研究委員会

委員長

越田信義（農工大）

幹事

宮尾正信（日立）
満鎮明（名大）
平本俊郎（東大）
須田良幸（農工大）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

津屋英樹（住友シチックス）

幹事

宮崎誠一（広大）
佐野正和（住友シチックス）

多層配線システム研究委員会

委員長

堀池靖浩（東大）

幹事

木村紳一郎（日立）
益一哉（東北大）
本間哲哉（芝浦工大）
奈良安雄（富士通）