歴代組織

2013年度第15期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

高橋庸夫（北海道大）

副幹事長

新宮原正三（関西大学）
若林　整（東工大）

常務幹事

会計

古澤孝弘（大阪大学）
佐藤成生（富士通セミコンダクター）

庶務

遠藤和彦（産総研）
藤原　聡（NTT）

業務

研究集会：土屋龍太（日立中研）、多田宗弘（LEAP）
出　　版：近藤博基（名古屋大学）、柴田　聡（パナソニック）
HP/会員：園田賢一郎（ルネサス）、角嶋邦之（東工大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

井谷俊郎（EUVL基盤開発センタ）

幹事

堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
宮本恭幸（東京工業大）
廣島　洋（産総研）
松井真二（兵庫県立大）
原田哲男（兵庫県立大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

坂本邦博（産総研）

幹事

寺内　衛（広島市大）
岩松俊明（ルネサス）
室田淳一（東北大）
吉田英司（富士通）
高木信一（東京大）
竹内　潔（ルネサス）
井田次郎（金沢工大）
若林　整（東京工業大）
外園明　（東芝）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（宇宙航空研究開発機構）

幹事

野平博司（東京都市大）
藤岡　洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
中川清和（山梨大）
酒井　朗（大阪大）
角嶋邦之（東京工業大）
高橋芳浩（日本大）
森田行則（産総研）
影島博之（NTT）
喜多浩之（東京大）
蓮沼　隆（筑波大）

多層配線システム研究委員会

委員長

近藤英一（山梨大）

幹事

学術講演

新宮原正三（関西大）
古澤健志（ルネサス）
上野和良（芝浦工大）
近藤誠一（ルネサス）
松永範昭（東芝）
中塚　理（名古屋大）
多田宗弘（LEAP）
小川真一（産総研）
霜垣幸浩（東京大）

モデリング研究委員会

委員長

廣木　彰（京都工繊大）

幹事

学術講演

小田中紳二（大阪大）
鳥谷部達（東洋大）
森　伸也（大阪大）
佐野伸行（筑波大）
青木伸俊（東芝）
小川真人（神戸大）
山川真弥（ソニー）
林　洋一（ラピスセミコンダクタ)
宇野重康　・i立命館大)
羽根正巳（ルネサス）
大倉康幸（STARC）
日高　剛（パナソニック）

研究集会

佐藤成生（富士通セミコンダクター）

接合技術研究会

委員長

水野文二（パナソニックFS）

幹事

品田賢宏（産総研）
川崎洋司（ルネサス）
樹山弘喜（大日本スクリーン）
冨田隆治（ルネサス）
伊藤裕之（バリアンセミコンダクター）
大内和也（東芝）
筒井一生（東京工業大）
柴田　聡（パナソニック）
濱本成顕（日新イオン機器）
猪子口清一（ルネサス）
右田真司（産総研）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

寒川誠二（東北大）

幹事

山崎　聡（産総研）
増田　淳（産総研）
内田　建（慶応大）
深津　晋（東京大）
波多野睦子（東京工業大）
藤原　聡（NTT）
三木一司（物材機構）
水田　博（サザンプトン大/北陸先端大）
浦岡行治（奈良先端科学技術大）
阪本利司（LEAP）
伊藤公平（慶応義塾大）
遠藤哲郎（東北大）
澤野憲太郎（東京都市大）
斎木敏治（慶応義塾大）
高橋康夫（北海道大）
種村眞幸（名古屋工業大）
肥後昭雄（東北大）
森江　隆（九州工業大）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範（東京大）

幹事

羽根一博（東北大）
小野崇人（東北大）
澤田和明（豊橋技科大）
辰巳哲也（ソニー）
小林浩之（日立）
今村　翼（東芝）
高村　禅（北陸先端大）
木下啓蔵（東北大）

講演会大分類「シリコンA」プログラム委員

幹事

上野智雄（東京農工大）
小山正人（東芝）