歴代組織

2004年度第6期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

宮尾　正信(九州大学)

副幹事長

鳥海　明(東京大学)

副幹事長、業務幹事
(学術講演会）

最上　徹(日本電気)

会計幹事

水島　一郎((株)東芝)
山口　伸也(日立製作所中央研究所)

業務幹事（研究集会）

羽路　伸夫(横浜国立大学大学院)
前田　辰郎(産業技術総合研究所)

業務幹事（出版）

寺澤　恒男(ASET)
土屋　敏章(島根大学)

業務幹事（HP/会員データ）

一木　隆範(東京大学)
佐野　伸行(筑波大学)

庶務幹事

宮崎　誠一(広島大学大学院)
寒川　誠二(東北大学)

リソグラフィー研究委員会

委員長

松井　真二(兵庫県立大学)

幹事

若宮　亙(Selete)
堀内　敏行(東京電機大学)
渋谷　眞人(東京工芸大学)

ULSIデバイス研究委員会

委員長

平本　俊郎(東京大学)

幹事　

稲葉　聡((株)東芝)

幹事（学術講演）

久本　大(日立製作所)

幹事

寺内　衛(広島市立大学)
竹内　潔(日本電気)
岩松　俊明(ルネサステクノロジー)
坂本　邦博(産業技術総合研究所)
高木　信一(東京大学大学院)
杉山　芳弘(富士通研究所)

Si新機能研究委員会

委員長

財満　鎭明(名古屋大学)

幹事（庶務）

須田　良幸(東京農工大学)

幹事（研究集会）

野崎　真次(電気通信大学)
山田　由佳(松下電器産業株式会社)

幹事（出版）

中川　清和(山梨大学)

幹事

室田　淳一(東北大学)
越田　信義(東京農工大学)

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

金田　千穂子(富士通研究所)

幹事

井上　直久(大阪府立大学)

幹事（学術講演）

廣瀬　和之(宇宙科学研究所)

幹事

酒井　朗(名古屋大学大学院工学研究科)
野平　博司(武蔵工業大学)
藤岡　洋(東京大学)
末岡　浩治(岡山県立大学)
影島　愽之(NTT)
棚橋　克人(富士通研究所)

多層配線システム研究委員会

委員長

新宮原　正三(広島大学大学院)

幹事

益　一哉(東京工業大学)

幹事（学術講演）

内田　恭敬(帝京科学大学)

幹事

上野　和良(NECエレクトロニクス)
近藤　英一(山梨大学大学院)
古澤　健志(ルネサステクノロジ)

モデリング研究委員会

委員長

小田中　紳二(大阪大学)

幹事（研究集会）

佐藤　成生(富士通（株）)

幹事（出版）

松澤　一也((株)東芝)

幹事（学術講演）

羽根　正巳(日本電気株式会社)
岡　秀樹(富士通研)
石川　清志(ルネサステクノロジ(株）)
鳥谷部　達(東洋大学)
海本　博之(松下電器半導体社)
小川　真人(神戸大学)

接合技術研究委員会

幹事長

水野　文二(㈱ユー・ジェー・ティー・ラボ)

幹事（学術講演）

筒井　一生(東京工業大学大学院)

委員

岩井　洋(東京工業大学)

幹事

河村　誠一郎(産業技術総合研究所)
芝原　健太郎(広島大学)
清田　幸弘(ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー)
栗野　浩之(東北大学大学院)
黒井　隆(ルネサステクノロジ)
伊藤　裕之(㈱ユー・ジェー・ティー・ラボ)
大内　和也((株)東芝)

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

小田　俊理(東京工業大学)

幹事（研究集会）

深津　晋(東京大学大学院)

幹事（出版）

山崎　聡(産業技術総合研究所)

幹事（学術講演）

波多野　睦子((株)日立製作所中央研究所)

幹事

三木　一司(物質・材料研究機構)