歴代組織

2009年度第11期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

宮崎誠一（広島大）

副幹事長

平本俊郎（東京大）
金田千穂子（富士通研）

常務幹事

会計

蓮沼正彦（東芝）
近藤誠一（Selete)

庶務

森伸也（大阪大）
酒井朗（大阪大）

業務

研究集会：竹内潔（NECEL）、深田直樹（物材機構）
出　　版：青山敬幸（Selete）、木下啓蔵（Selete）
HP/会員：伊藤公平（慶應義塾大）、遠藤哲郎（東北大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

井谷俊郎（Selete）

幹事

堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
宮本恭幸（東工大）
廣島洋（産総研）
松井真二（兵庫県立大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

坂本邦博（産総研）

幹事

寺内衛（広島市大）
岩松俊明（ルネサス）
室田淳一（東北大）
土屋龍太（日立）
高木信一（東京大）
・@福留秀暢（富士通研）
若林整（ソニー）
三浦規之（沖電気）
稲葉聡（東芝）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（宇宙研）

幹事

井上直久（大阪府大）
野平博司（東京都市大）
藤岡洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
中川清和（山梨大）
影島博之（NTT)
泉妻宏治（コバレントマテリアル）

多層配線システム研究委員会

委員長

新宮原正三（関西大）

幹事

学術講演

内田恭敬（帝京科大）
益一哉（東工大）
上野和良（芝浦工大）
古澤健志（ルネサス）
近藤英一（山梨大）

モデリング研究委員会

委員長

小田中紳二（大阪大）

幹事

学術講演

小川真人（神戸大）
鳥谷部達（東洋大）
佐野伸行（筑波大）

研究集会

園田賢一郎（ルネサス）
大倉康幸（Selete)
松澤一也（東芝）
秋山豊（NECEL)
青木伸俊（東芝
半田崇登（バナソニック）
佐藤成生（富士通マイクロエレクトロニクス）
山川真弥（ソニー）

接合技術研究会

委員長

水野文二（UJTラボ）

幹事

水島一郎（東芝）
伊藤裕之（バリアンセミコンダクター）
大内和也（東芝）
川崎洋司（ルネサステクノロジ）
獅子口清一（NECEL)
清田幸弘（ソニー）
筒井一生（東工大）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

高橋康夫（北海道大）

幹事

深津晋（東京大）
越田信義（東京農工大）
三木一司（物材機構）
寒川誠二（東北大
水田博（サザンプトン大/東工大）
波多野睦子（日立）
山崎聡（産総研）
二瓶史行（NEC)
遠藤和彦（産総研）
浦岡行治（奈良先端科学技術大）
増田淳（産総研）
内田建（東工大）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範（東京大）

幹事

堀勝（名古屋大）
羽根一博（東北大）
田中潤一（日立）
酒井伊都子（東芝）
高村禅（北陸先端科学技術大）
辰巳哲也（ソニー）
小野崇人（東北大）
澤田和明（豊橋技科大）