歴代組織

2020年度第22期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

内田　建（東大）

副幹事長

遠藤和彦（産総研）
多田宗弘（NEC）

常務幹事

会計

肥後昭男（東大）
松永範昭(アプライドマテリアルズ)

庶務

中野誠彦（慶大）
高橋綱己（東大）

業務

研究集会：蓮沼 隆（筑波大）、角嶋邦之（東工大）
HP/会員：中島良樹（アクセリス・テクノロジー）、小川大輔（中部大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

寺内　衛（甲南大）

幹事

高木信一（東京大学）
山本芳樹（ルネサスエレクトロニクス）
松川　貴（産総研）
櫻庭政夫（東北大）
南雲俊治（東芝）
井田次郎（金沢工業大）
外園　明（東芝）
島　明生（日立製作所）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

野平博司（東京都市大）

幹事

廣瀬和之（宇宙航空研究開発機構）
藤岡　洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
酒井　朗（大阪大）
影島博之（島根大）
喜多浩之（東京大）
角嶋邦之（東工大）
荒木浩司（グローバルウェーハズ・ジャパン）
森田行則（産総研）
牧原克典（名古屋大）
高橋芳浩（日大）
太子敏則（信州大）

多層配線システム研究委員会

委員長

近藤英一（山梨大）

幹事

新宮原正三（関西大）
上野和良（芝浦工大）
中塚　理（名古屋大）
古澤健志（HDマイクロシステムズ）
小川真一（産総研）
植木　誠（ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング）
霜垣幸浩（東大）

モデリング研究委員会

委員長

廣木　彰（京都工繊大）

幹事

青木伸俊（東芝）
佐藤成生（三重富士通セミコンダクター）
森　伸也（大阪大）
佐野伸行（筑波大）
林　洋一（ラピスセミコンダクタ）
羽根正巳（ルネサスエレ）
園田賢一郎（ルネサスエレ）
高篠裕行（ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング）
鎌倉良成（大阪大）
相馬聡文（神戸大）
野田泰史（パナソニック）
小田嘉則（アドバンスソフト）

接合技術研究会

委員長

柴田　聡（パナソニック）

幹事

伊藤裕之（バリアンセミコンダクター）
筒井一生（東工大）
水野文二（パナソニック）
大内和也（キオクシア)
右田真司（産総研）
和田涼太（日新イオン機器）
峰地　輝（住友重機イオンテクノロジー）
加藤慎一（SCREENセミコンダクターソリューションズ）
岡本浩樹（キオクシア株式会社）
山口　直（ルネサスエレクトロニクス）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

寒川誠二（東北大）

幹事

山崎　聡（産総研）
増田　淳（産総研）
深津　晋（東京大）
森江　隆（九州工業大）
藤原　聡（NTT）
三木一司（兵庫県立大）
水田　博（サザンプトン大／北陸先端大）
二瓶史行（NEC）
浦岡行治（奈良先端科学技術大）
阪本利司（NEC）
伊藤公平（慶應義塾大）
斎木敏治（慶應義塾大）
村山明宏（北海道大）
宇佐美徳隆（名古屋大）
宮本良之（産総研）
澤野憲太郎（東京都市大）
水林　亘（産総研）
種村眞幸（名工大）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

近藤博基（名古屋大）

幹事

木下啓藏（アイオーコア）
一木隆範（東京大）
佐々木俊行（東芝）
平田瑛子（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
谷本明佳（日立製作所）
布村正太（産総研）
江利口浩二（京大）

講演会大分類「13半導体」プログラム委員

幹事

入沢寿史（産総研）
齋藤真澄（東芝メモリ）

VLSIシンポジウム委員

幹事

山川真弥（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
竹内　健（中央大学）

Silicon Nanoelectronics Workshop委員

幹事

品田賢宏（東北大）

ＳＤＲＪ委員会

幹事

林　喜宏（慶應義塾大）