歴代組織

2015年度第17期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

若林　整（東工大）

副幹事長

遠藤哲郎（東北大学）
大内和也（東芝）

常務幹事

会計

井田次郎（金沢工業大学）
佐々木俊行（東芝）

庶務

品田賢宏（産総研）
植木 誠（ルネサス）

業務

研究集会：森田行則（産総研）、高篠裕行（ソニー）
出　　版：原田哲男（兵庫県立大学）、蓮沼 隆（筑波大）
HP/会員：肥後昭男（東北大学）、澤野憲太郎（東京都市大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

井谷俊郎（EUVL基盤開発センター）

幹事

宮本恭幸（東京工業大）
堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
松井真二（兵庫県立大）
廣島　洋（産総研）
古澤孝弘（大阪大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

寺内　衛（甲南大）

幹事

外園　明（東芝）
高木信一（東京大）
内田 健（慶応大）
山本芳樹（ルネサスエレ）
島　明夫（日立製作所）
松川　貴（産総研）
櫻庭政夫（東北大）
南雲俊治（東芝）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（宇宙航空研究開発機構）

幹事

野平博司（東京都市大） 藤岡　洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
酒井　朗（大阪大）
影島博之（NTT）
喜多浩之（東京大）
蓮沼　隆（筑波大）
角嶋邦之（東京工業大）
高橋芳浩（日本大）
太子敏則（信州大）

多層配線システム研究委員会

委員長

近藤英一（山梨大）

幹事

学術講演

新宮原正三（関西大）
上野和良（芝浦工大）
松永範昭（東芝）
霜垣幸浩（東京大）
中塚　理（名古屋大）
古澤健志（日立化成）
小川真一（産総研）
多田宗弘（日本電気）

モデリング研究委員会

委員長

廣木　彰　（京都工繊大）

幹事

学術講演

小田中紳二（大阪大）
青木伸俊（東芝）
小川真人（神戸大）
佐藤成生（三重富士通セミコンダクター）
森　伸也（大阪大）
佐野伸行（筑波大）
林　洋一（ラピスセミコンダクタ)
宇野重康（立命館大)
羽根正巳（ルネサスエレ）
園田賢一郎（ルネサスエレ）
小田嘉則（半導体理工学センター）
高篠裕行（ソニー）

接合技術研究会

委員長

水野文二（パナソニックFS）

幹事

伊藤裕之（バリアンセミコンダクター） 筒井一生（東京工業大）
猪子口清一（ルネサスエレ）
右田真司（産総研）
柴田 聡（パナソニック）
川崎洋司（ルネサスエレ）
樹山弘喜（大日本スクリーン製造）
冨田隆治（三星）
濱本成顕（日新イオン機器）
青山敬幸（大日本スクリーン製造）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

寒川誠二（東北大）

幹事

山崎　聡（産総研）
増田　淳（産総研）
深津　晋（東京大）
波多野睦子（東京工業大）
種村眞幸（名古屋工業大）
森江　隆（九州工業大）
藤原 聡（NTT）
三木一司　物材機構）
水田　博（サザンプトン大/北陸先端大）
二瓶史行（TASC)
浦岡行治（奈良先端科学技術大）
阪本利司（LEAP）
伊藤公平（慶応義塾大）
斎木敏治（慶応義塾大）
遠藤和彦（産総研）
村山明宏（北海道大学）
宇佐見徳隆（名古屋大）
宮本良之（産総研）
水林 亘（産総研）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範　（東京大）

幹事

澤田和明（豊橋技科大）
辰巳哲也（ソニー）
木下啓蔵（東北大）
近藤博基（名古屋大）
大森健史（日立製作所）
佐々木俊行（東芝）
高村　禅（北陸先端大）

講演会大分類「シリコンA」プログラム委員

幹事

上野智雄（東京農工大）
小山正人（東芝）

VLSIシンポジウム委員

幹事

平本俊郎（東京大）
蕪尾英之（パナソニック）