歴代組織

2026年度第28期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

中塚　理（名古屋大学）

副幹事長

多田宗弘（慶応義塾大学）
角村貴昭（東京エレクトロン）

常務幹事

会計

堤　隆嘉（名古屋大学）
石原貴光（キオクシア）

庶務

トープラサートポン・カシディット（東京大学）
峰地　輝（住友重機械マテリアルソリューションズ）

業務

研究集会：蓮沼　隆（筑波大学），山端元音（NTT）
HP/会員：肥後昭男（東京大学），牧原克典（名古屋大学）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

松川　貴（産業技術総合研究所）

幹事

櫻庭政夫（東北大学）
南雲俊治（キオクシア）
外園　明（キオクシア）
菊池善明（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
加藤公彦（産業技術総合研究所）
森　貴之（金沢工業大学）
宮下　桂（東芝デバイス&ストレージ）
津田是文（ルネサスエレクトロニクス）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

野平博司（東京都市大学）

幹事

藤岡　洋（東京大学）
酒井　朗（大阪大学）
影島博之（島根大学）
喜多浩之（東京大学）
荒木浩司（グローバルウェーハズ・ジャパン）
森田行則（産業技術総合研究所）
高橋芳浩（日本大学）
太子敏則（信州大学）
角嶋邦之（東京科学大学）
中島良樹（アクセリス・テクノロジー）

多層配線システム研究委員会

委員長

松永範昭（アプライドマテリアルズジャパン）

幹事

近藤誠一（レゾナック）
植木　誠（ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング）
井上史大（横浜国立大学）
福島誉史（東北大学）
百瀬　健（熊本大学）
竹口直樹（SanDisk）
中村雄三（三井化学）

モデリング研究委員会

委員長

園田賢一郎（ルネサスエレクトロニクス）

幹事

森　伸也（大阪大学）
林　洋一（ローム）
関根遼太郎（ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング）
相馬聡文（神戸大学）
小田嘉則（アドバンスソフト）
中野誠彦（慶應義塾大学）
鎌倉良成（大阪工業大学）
佐藤伸吾（関西大学）
野田泰史（パナソニック）

接合技術研究会

委員長

柴田　聡（パナソニックオペレーショナルエクセレンス）

幹事

水野文二（UJT Lab.）
伊藤裕之（アプライドマテリアルズ）
筒井一生（東京科学大学）
大内和也（キオクシア）
右田真司（産業技術総合研究所）
加藤慎一（SCREENセミコンダクターソリューションズ）
山口　直（ルネサスエレクトロニクス）
品田賢宏（東北大学）
和田涼太（日新イオン機器）
岡本浩樹（キオクシア）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

増田　淳（新潟大学）

幹事

植田暁子（産業技術総合研究所）
大堀大介（東北大学）
深津　晋（東京大学）
山端元音（NTT）
岸　直希（名古屋工業大学）
張　文馨（産業技術総合研究所）
野村政宏（東京大学）
澤野憲太郎（東京都市大学）
三河　巧（SCREENセミコンダクターソリューションズ）
高橋綱己（東京大学）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

小川大輔（中部大学）

幹事

近藤博基（九州大学）
小玉欣典（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
木下啓藏（アイオーコア）
一木隆範（東京大学）
今村　翼（日立製作所）
占部継一郎（京都大学）
布村正太（産業技術総合研究所）

講演会大分類 「シリコンA」プログラム委員会

委員長

山本芳樹（ルネサスエレクトロニクス）
牧山剛三（住友電気工業）

幹事

小林正治（東京大学）

Silicon Nanoelectronics Workshop委員会

幹事

角嶋邦之（東京科学大学）

ADMETA委員会

 

齊藤丈靖（大阪公立大学）

SDRJ委員会

委員長

林　喜宏（慶應義塾大学）