歴代組織
2005年度第7期本分科会の組織
常任幹事会
- 幹事長
- 鳥海明（東京大）
- 副幹事長
- 須田良幸（東京農工大）
上野和良（NECエレクトロニクス）
- 常務幹事
-
- 会計
- 松澤一也（東芝）
波多野睦子（日立中研)
- 庶務
- 寒川誠二（東北大）
芝原健太郎（広島大）
- 業務
-
- 学術講演
- 最上徹（NEC）
- 研究集会
- 前田辰郎（産業技術総研）
久本大（日立）
- 出版
- 土屋敏章（島根大）
山崎聡（産業技術総研）
- HP/会員
- 佐野伸行（筑波大）
影島博之（NTT）
リソグラフィー研究委員会
- 委員長
- 松井真二（兵庫県立大）
- 幹事
- 若宮瓦（Selete）
堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
寺澤恒男（ASET）
ULSIデバイス研究委員会
- 委員長
- 平本俊郎（東大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 稲葉聡（東芝）
寺内衛（広島市大）
竹内潔（日本電気）
岩松俊明（三菱電機）
坂本邦博（産総研）
室田淳一（東北大）
土屋龍太（日立）
高木信一（東大）
杉山芳弘（富士通研）
表面・界面・シリコン材料研究委員会
- 委員長
- 金田千穂子（富士通研）
- 幹事
-
- 学術講演
- 廣瀬和之（宇宙研）
末岡浩治（岡山県立大）
酒井郎（名大）
井上直久（大阪府大）
棚橋克人（富士通研）
野平博司（武蔵工大）
藤岡洋（東大）
羽路伸夫（横浜国大）
宮崎誠一（広島大）
中川清和（山梨大）
多層配線システム研究委員会
- 委員長
- 新宮原正三（広島大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 内田恭敬（帝京科大）
益一哉（東工大）
近藤英一（山梨大）
古澤健志（ルネサス）
近藤誠一（SELETE）
蓮沼正彦（東芝）
モデリング研究委員会
- 委員長
- 小田中紳二（大阪大）
- 幹事
-
- 研究集会
- 小田嘉則（松下）
- 出版
- 広木彰（京都工繊大）
- 学術講演
- 佐藤茂生（富士通）
羽根正巳（NEC）
岡秀樹（富士通研）
小川真人（神戸大）
石川清志（ルネサス）
鳥谷部達（東洋大）
接合技術研究会
- 委員長
- 水野文二（UJTラボ）
- 幹事
-
- 学術講演
- 筒井一生（東工大）
清田幸弘（ソニー）
水島一郎（東芝）
岩井洋（東工大）
河村誠一郎（産総研）
黒井隆 (ルネサス）
伊藤裕之 (UJTラボ）
大内和也 (東芝セミコンダクター）
Siナノテクノロジー研究委員会
- 委員長
- 小田俊理（東工大）
- 幹事
-
- 研究集会
- 深津晋（東大）
- 学術講演
- 三木一司（物質・材料研究機構）
越田信義（東京農工大）
ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会
- 委員長
- 一木隆範（東大）
- 幹事
- 堀勝（名古屋大）
石田誠（豊橋技術科学大）
羽根一博（東北大）
小野崇人（東北大）
木下啓蔵（産総研）
辰巳哲也（ソニー）
