歴代組織

2010年度第12期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

宮崎誠一（広島大）

副幹事長

平本俊郎（東京大）
金田千穂子（富士通研）

常務幹事

会計

古澤健志（ルネサス）
若林　整（ソニー）

庶務

酒井　朗（大阪大）
宮本恭幸（東工大）

業務

研究集会：深田直樹（物材機構）、川崎洋司（ルネサス）
出　　版：木下啓蔵（NEC）、高村　禅（北陸先端大）
HP/会員：遠藤哲郎（東北大）、大倉康幸（Selete）

リソグラフィー研究委員会

委員長

井谷俊郎（Selete）

幹事

堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
廣島　洋（産総研）
松井真二（兵庫県立大）
古澤孝弘（大阪大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

坂本邦博（産総研）

幹事

寺内　衛（広島市大）
岩松俊明 （ルネサス）
室田淳一（東北大）
土屋龍太（日立）
高木信一（東京大）
稲葉　聡（東芝）
竹内　潔（ルネサス）
井田次郎（金沢工大）
芝原健太郎（広島大）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（宇宙研）

幹事

井上直久（東京農工大）
野平博司（東京都市大）
藤岡　洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
中川清和（山梨大）
影島博之（NTT)
泉妻宏治（コバレントシリコン）
西澤正泰（産総研）
角嶋邦之（東工大）

多層配線システム研究委員会

委員長

近藤英一（山梨大）

幹事

学術講演

内田恭敬（帝京科大）
新宮原正三（関西大）
上野和良（芝浦工大）
蓮沼正彦（東芝）
中塚　理（名古屋大）
近藤誠一（ルネサス）

モデリング研究委員会

委員長

小田中紳二（大阪大）

幹事

学術講演

小川真人（神戸大）
鳥谷部達（東洋大）
佐野伸行（筑波大）
園田賢一郎（ルネサス）
松澤一也（東芝）
秋山　豊（ルネサス）
半田崇登（パナソニック）
佐藤成生（富士通セミコンダクター）

研究集会

青木伸俊（東芝）
山川真弥（ソニー）
森　伸也（大阪大）

接合技術研究会

委員長

水野文二　（UJTラボ）

幹事

水島一郎（東芝）
伊藤裕之（バリアンセミコンダクター）
大内和也（東芝）
獅子口清一（ルネサス）
清田幸弘（ソニー）
筒井一生（東工大）
青山敬幸（富士通セミコンダクター）
品田賢宏（早稲田大）
樹山弘喜（大日本スクリーン）
冨田隆治（ルネサス）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

高橋康夫（北海道大）

幹事

深津　晋（東京大）
越田信義（東京農工大）
三木一司（物材機構）
寒川誠二（東北大）
水田　博（サザンプトン大/東工大）
波多野睦子（日立）
山崎　聡（産総研）
二瓶史行（産総研）
遠藤和彦（産総研）
浦岡行治（奈良先端科学技術大）
増田　淳（産総研）
内田　建（東工大）
伊藤公平（慶応義塾大）
阪本利司（NEC）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範（東京大）

幹事

堀　勝（名古屋大）
羽根一博（東北大）
辰巳哲也（ソニー）
小野崇人（東北大）
澤田和明（豊橋技科大）
横川賢悦（日立）
林　久寛（東芝）