歴代組織
2023年度第25期本分科会の組織
常任幹事会
- 幹事長
- 井田次郎(金沢工大)
- 副幹事長
- 中塚理(名大)
宮下桂(東芝デバイス&ストレージ株式会社)
- 常務幹事
-
- 会計
- 和田涼太(日新イオン機器)
牧原克典(名古屋大学)
- 庶務
- 肥後昭男(東大)
津田是文(ルネサスエレクトロニクス)
- 業務
- 研究集会:布村正太(産総研),増田淳(新潟大学)
HP/会員:野田泰史(パナソニック),佐々木俊行(キオクシア(株))
ULSIデバイス研究委員会
- 委員長
- 松川貴(産総研)
- 幹事
- 高木信一(東大)
山本芳樹(ルネサスエレクトロニクス)
櫻庭政夫(東北大)
南雲俊治(キオクシア)
外園 明(キオクシア)
島 明生(日立製作所)
菊池善明(ソニー)
加藤公彦(産総研)
表面・界面・シリコン材料研究委員会
- 委員長
- 野平博司(都市大)
- 幹事
- 藤岡 洋(東大)
羽路伸夫(横浜国大)
酒井 朗(阪大)
影島博之(島根大)
喜多浩之(東大)
荒木浩司(グローバルウェーハズ・ジャパン)
森田行則(産業技術総合研究所)
高橋芳浩(日本大学)
太子敏則(信州大学)
角嶋邦之(東京工業大学)
蓮沼 隆(筑波大)
多層配線システム研究委員会
- 委員長
- 松永範昭(アプライドマテリアルズ)
- 幹事
- 古澤健志(日立化成)
植木 誠(ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
多田宗弘(ナノブリッジ・セミコンダクター)
井上史大(横浜国大)
竹口直樹(Western Digital)
福島誉史(東北大)
百瀬 健(熊本大)
小野昇子(三井化学)
モデリング研究委員会
- 委員長
- 園田賢一郎(ルネサスエレクトロニクス)
- 幹事
- 青木伸俊(キオクシア)
佐藤伸吾(関西大学)
森 伸也(阪大)
佐野伸行(筑波大)
林 洋一(ラピステクノロジー)
羽根正巳(ルネサスエレクトロニクス)
高篠裕行(ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
相馬聡文(神戸大)
小田嘉則(アドバンスソフト)
中野誠彦(慶大)
廣木 彰(京都工繊大)
鎌倉良成(大阪工業大学)
接合技術研究会
- 委員長
- 柴田 聡(パナソニックオペレーショナルエクセレンス)
- 幹事
- 伊藤裕之(アプライドマテリアルズ)
筒井一生(東工大)
大内和也(キオクシア)
右田真司(産総研)
峰地 輝(住友重機イオンテクノロジー)
加藤慎一(SCREENセミコンダクターソリューションズ)
岡本浩樹(キオクシア)
山口 直(ルネサスエレクトロニクス)
品田賢宏(東北大)
中島良樹(アクセリス・テクノロジー)
水野文二(UJTラボ)
Siナノテクノロジー研究委員会
- 委員長
- 寒川誠二(東北大)
- 幹事
- 山崎 聡(産総研)
深津 晋(東大)
森江 隆(九工大)
藤原 聡(NTT)
三木一司(兵庫県立大)
水田 博(北陸先端大)
二瓶史行(NEC)
浦岡行治(奈良先端大)
阪本利司(NEC)
伊藤公平(慶大)
斎木敏治(慶大)
村山明宏(北大)
宇佐美徳隆(名大)
宮本良之(産総研)
種村眞幸(名工大)
高橋綱己(東大)
張 文馨(産総研)
野村政宏(東大)
澤野憲太郎(東京都市大学)
水林亘(産業技術総合研究所)
ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会
- 委員長
- 近藤博基(名古屋大)
- 幹事
- 木下啓藏(アイオーコア)
一木隆範(東大)
佐々木俊行(キオクシア)
三好 康史(ソニーセミコンダクタソリューションズ)
藤崎寿美子(日立製作所)
江利口浩二(京大)
小川大輔(中部大学)
講演会大分類 「シリコンA」プログラム委員会
- 委員長
- 曽根正人(東工大)
中岡俊裕(上智大)
- 幹事
- 小林正治(東大)
Silicon Nanoelectronics Workshop委員会
- 幹事
- 冨岡克広(北大)
ADMETA委員会
-
- 町田英明(気相成長株式会社)
SDRJ委員会
- 委員長
- 林 喜宏(産総研)