歴代組織
2003年度第5期本分科会の組織
常任幹事会
- 幹事長
- 宮尾正信（九州大）
- 副幹事長
- 鳥海明（東京大）
最上徹（NEC）
- 常務幹事
-
- 会計
- 水野文二（松下電器）
水島一郎 (東芝）
- 庶務
- 宮崎誠一（広島大）
小川真人（神戸大）
- 業務
- 学術講演：最上徹（NEC）
研究集会：羽路伸夫（横国大）、坂本邦博（産業技術総研）
出 版：寺澤恒男（ASET）、赤澤正道（北大）
HP/会員：藤岡洋（東大）、一木隆範（東洋大）
リソグラフィー研究委員会
- 委員長
- 岡崎信次（ASET）
- 幹事
- 松井真二（姫工大）
若宮瓦（Selete）
堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
ULSIデバイス研究委員会
- 委員長
- 平本俊郎（東大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 久本大（日立）
高木信一（東芝）
前田辰郎（産業技術総研）
寺内衛（広島市大）
稲葉聡（東芝セミコンダクター）
竹内潔（日本電気）
岩松俊明（三菱電機）
Si新機能研究委員会
- 委員長
- 財満鎮明（名大）
- 幹事
-
- 庶務
- 須田良幸（東京農工大）
- 出版
- 中川清和（山梨大）
- 学術講演
- 山口伸也（日立中研)
- 研究集会
- 野崎真次（電通大）
山田由佳（松下電器）
室田淳一（東北大）
越田信義（東京農工大）
一木隆範（東洋大）
表面・界面・シリコン材料研究委員会
- 委員長
- 井上直久（大阪府大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 廣瀬和之（宇宙研）
酒井郎（名大）
金田千穂子（富士通研）
末岡浩治（三菱住友シリコン）
影島博之（ＮＴＴ）
野平博司（武蔵工大）
多層配線システム研究委員会
- 委員長
- 益一哉（東工大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 内田恭敬（帝京科大）
近藤英一（山梨大）
上野和良（NEC）
古澤健志（日立）
モデリング研究委員会
- 委員長
- 小田中紳二（大阪大）
- 幹事
-
- 研究集会
- 和田哲典（半導体先端テクノロジーズ）
- 出版
- 松澤一也（東芝）
- 学術講演
- 羽根正巳（NEC）
真壁利明（慶応大）
佐野伸行（筑波大）
海本博之（松下電器）
接合技術研究会
- 委員長
- 岩井洋（東工大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 筒井一生（東工大）
河村誠一郎（産業総合研）
芝原健太郎（広島大）
清田幸弘 (日立中研）
栗野浩之 (東北大）
黒井隆 (三菱電機）
伊藤裕之 (アプライドマテリアルズジャパン）
大内和也 (東芝セミコンダクター）
Siナノテクノロジー研究委員会
- 委員長
- 小田俊理（東工大）
- 幹事
-
- 研究集会
- 深津晋（東大）
- 出版
- 山崎聡（産業技術総研）
- 学術講演
- 波多野睦子（日立中研）
三木一司（物質・材料研究機構）
寒川誠二（東北大）
