歴代組織

2003年度第5期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

宮尾正信（九州大）

副幹事長

鳥海明（東京大）
最上徹（NEC）

常務幹事

会計

水野文二（松下電器）
水島一郎 (東芝）

庶務

宮崎誠一（広島大）
小川真人（神戸大）

業務

学術講演：最上徹（NEC）
研究集会：羽路伸夫（横国大）、坂本邦博（産業技術総研）
出　　版：寺澤恒男（ASET）、赤澤正道（北大）
HP/会員：藤岡洋（東大）、一木隆範（東洋大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

岡崎信次（ASET）

幹事

松井真二（姫工大）
若宮瓦（Selete）
堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

平本俊郎（東大）

幹事

学術講演

久本大（日立）
高木信一（東芝）
前田辰郎（産業技術総研）
寺内衛（広島市大）
稲葉聡（東芝セミコンダクター）
竹内潔（日本電気）
岩松俊明（三菱電機）

Si新機能研究委員会

委員長

財満鎮明（名大）

幹事

庶務

須田良幸（東京農工大）

出版

中川清和（山梨大）

学術講演

山口伸也（日立中研)

研究集会

野崎真次（電通大）
山田由佳（松下電器）
室田淳一（東北大）
越田信義（東京農工大）
一木隆範（東洋大）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

井上直久（大阪府大）

幹事

学術講演

廣瀬和之（宇宙研）
酒井郎（名大）
金田千穂子（富士通研）
末岡浩治（三菱住友シリコン）
影島博之（ＮＴＴ）
野平博司（武蔵工大）

多層配線システム研究委員会

委員長

益一哉（東工大）

幹事

学術講演

内田恭敬（帝京科大）
近藤英一（山梨大）
上野和良（NEC）
古澤健志（日立）

モデリング研究委員会

委員長

小田中紳二（大阪大）

幹事

研究集会

和田哲典（半導体先端テクノロジーズ）

出版

松澤一也（東芝）

学術講演

羽根正巳（NEC）
真壁利明（慶応大）
佐野伸行（筑波大）
海本博之（松下電器）

接合技術研究会

委員長

岩井洋（東工大）

幹事

学術講演

筒井一生（東工大）
河村誠一郎（産業総合研）
芝原健太郎（広島大）
清田幸弘 (日立中研）
栗野浩之 (東北大）
黒井隆 (三菱電機）
伊藤裕之 (アプライドマテリアルズジャパン）
大内和也 (東芝セミコンダクター）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

小田俊理（東工大）

幹事

研究集会

深津晋（東大）

出版

山崎聡（産業技術総研）

学術講演

波多野睦子（日立中研）
三木一司（物質・材料研究機構）
寒川誠二（東北大）