歴代組織

2011年度第13期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

平本俊郎（東京大）

副幹事長

高橋庸夫（北海道大）
木下啓蔵（東北大）

常務幹事

会計

若林　整（ソニー）
二瓶史行（TASC）

庶務

宮本恭幸（東工大）
喜多浩之（東京大）

業務

研究集会：川崎洋司（ルネサス）、中塚　理（名古屋大）
出　　版：高村　禅（北陸先端大）、獅子口清一（ルネサス）
HP/会員：大倉康幸（Starc）、影島博之（NTT）

リソグラフィー研究委員会

委員長

井谷俊郎（EUVL基盤開発センタ）

幹事

堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
廣島　洋（産総研）
古澤孝弘（大阪大）
松井真二（兵庫県立大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

坂本邦博（産総研）

幹事

高木信一（東京大）
井田次郎（金沢工大）
寺内　衛（広島市大）
岩松俊明（ルネサス）
室田淳一（東北大）
土屋龍太（日立）
稲葉　聡（東芝）
竹内　潔（ルネサス）
吉田英司（富士通）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（ISAS）

幹事

泉妻宏治（コバレントシリコン）
角嶋邦之（東工大）
金田千穂子（富士通）
深田直樹（物材機構）
野平博司（東京都市大）
藤岡　洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
中川清和（山梨大）
酒井　朗（大阪大）

多層配線システム研究委員会

委員長

近藤英一（山梨大）

幹事

学術講演

新宮原正三（関西大）
古澤健志（ルネサス）
内田恭敬（帝京科大）
上野和良（芝浦工大）
近藤誠一（ルネサス）
松永範昭（東芝）

モデリング研究委員会

委員長

小田中紳二（大阪大）

幹事

学術講演

鳥谷部達（東洋大）
松澤一也（東芝）
森　伸也（大阪大）
佐野伸行（筑波大）
園田賢一郎（ルネサス）
秋山　豊（ルネサス）
青木伸俊（東芝）
佐藤成生（富士通セミコンダクター）

出版担当

小川真人（神戸大）

研究集会

半田崇登（パナソニック）
山川真弥（ソニー）

接合技術研究会

委員長

水野文二（UJTラボ）

幹事

水島一郎（東芝・j
品田賢宏（早稲田大）
樹山弘喜（大日本スクリーン）
冨田隆治（ルネサス）
伊藤裕之（バリアンセミコンダクター）
大内和也（東芝）
筒井一生（東工大）
青山敬幸（富士通セミコンダクター）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

寒川誠二（東北大）

幹事

三木一司（物材機構）
水田　博（サザンプトン大/北陸先端大）
遠藤和彦（産総研）
浦岡行治（奈良先端科学技術大）
阪本利司（LEEP）
伊藤公平（慶応義塾大）
遠藤哲郎（東北大）
山崎　聡（産総研）
増田　淳（産総研）
内田　建（東工大）
深津　晋（東京大）
波多野睦子（日立）
藤原　聡（NTT）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範（東京大）

幹事

横川賢悦（日立）
林　久寛（東芝）
羽根一博（東北大）
小野崇人（東北大）
澤田和明（豊橋技科大）
辰巳哲也（ソニー）
近藤博基（名古屋大）