歴代組織

2006年度第8期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

鳥海明（東大）

副幹事長

須田良幸（東京農工大）
上野和良（NECエレクトロニクス）

常務幹事

会計

波多野睦子（日立中研)
杉山芳弘（富士通研)

庶務

芝原健太郎（広島大学）
近藤英一（山梨大学）

業務

研究集会：久本大（日立）、羽根正巳（NEC）
出　　版：山崎聡（産総研）、清田幸弘（ソニー）
HP/会員：影島博之（NTT）、古澤健志（ルネサス）

リソグラフィー研究委員会

委員長

松井真二（兵庫県立大）

幹事

渋谷眞人（東京工芸大）
寺澤恒男（ASET）
堀内敏行（東京電機大）
宮本恭幸（東工大）
若宮瓦（Selete）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

平本俊郎（東大）

幹事

稲葉聡（東芝）
坂本邦博（産総研）
高木信一（東大）
竹内潔（NEC）
土屋龍太（日立）
寺内衛（広島市大）
室田淳一（東北大）
岩松俊明（三菱電機）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（宇宙研）

幹事

井上直久（大阪府大）
金田千穂子（富士通研）
酒井朗（名大）
末岡浩治（岡山県立大）
棚橋克人（富士通研）
中川清和（山梨大）
野平博司（武蔵工大）
羽路伸夫（横浜国大）
藤岡洋（東大）
宮崎誠一（広島大）

多層配線システム研究委員会

委員長

新宮原正三（関西大）

幹事

学術講演

内田恭敬（帝京科大）
近藤英一（山梨大）
近藤誠一（SELETE）
蓮沼正彦（東芝）
益一哉（東工大）

モデリング研究委員会

委員長

小田中紳二（大阪大）

幹事

研究集会

小田嘉則（松下）
大倉康幸（Selete）

出版

広木彰（京都工繊大）

学術講演

石川清志（ルネサス）
岡秀樹（富士通研）
小川真人（神戸大）
鳥谷部達（東洋大）
森伸也（大阪大）
佐野伸行（筑波大）
松澤一也（東芝）

接合技術研究会

委員長

水野文二（UJTラボ）

幹事

学術講演

筒井一生（東工大）
伊藤裕之（UJTラボ）
岩井洋（東工大）
大内和也（東芝）
河村誠一郎（産総研）
清田幸弘（ソニー）
黒井隆（ルネサス）
水島一郎（東芝）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

小田俊理（東工大）

幹事

浦岡行治（奈良先端科学技術大）
越田信義（東京農工大）
寒川誠二（東北大）
高橋康夫（北大）
深津晋（東大）
三木一司（物質・材料研究機構）
水田博（東工大）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範（東大）

幹事

石田誠（豊橋技術科学大）
小野崇人（東北大）
木下啓蔵（MIRAI）
高村禅（北陸先端科学技術大）
辰巳哲也（ソニー）
羽根一博（東北大）
林久貴（東芝）
堀勝（名古屋大）
森政士（日立）