歴代組織

2021年度第23期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

遠藤和彦（産総研）

副幹事長

井田次郎（金沢工大）
水野文二（パナソニック）

常務幹事

会計

松永範昭（アプライドマテリアルズ）
澤野憲太郎（都市大）

庶務

高橋綱己（東大）
水林亘（産総研）

業務

研究集会：角嶋邦之（東工大）、鎌倉良成（大阪工大）
HP/会員：小川大輔（中部大）、中塚理（名大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

寺内　衛（甲南大）

幹事

高木信一（東大）
山本芳樹（ルネサスエレクトロニクス）
松川貴（産総研）
櫻庭政夫（東北大）
南雲俊治（東芝）
外園　明（東芝）
島　明生（日立製作所）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

野平博司（都市大）

幹事

廣瀬和之（JAXA）
藤岡　洋（東大）
羽路伸夫（横浜国大）
酒井　朗（阪大）
影島博之（島根大）
喜多浩之（東大）
荒木浩司（グローバルウェーハズ・ジャパン）
森田行則（産総研）
牧原克典（名大）
高橋芳浩（日大）
太子敏則（信州大）
蓮沼 隆(筑波大)
中島 良樹（アクセリス・テクノロジー）

多層配線システム研究委員会

委員長

近藤英一（山梨大）

幹事

新宮原正三（関西大）
上野和良（芝浦工大）
古澤健志（日立化成）
小川真一（産総研）
植木　誠（ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング）
霜垣幸浩（東大）
多田 宗弘（ナノブリッジ・セミコンダクター）

モデリング研究委員会

委員長

園田賢一郎（ルネサスエレクトロニクス）

幹事

青木伸俊（東芝）
佐藤成生（ユナイテッド・セミコンダクター・ジャパン）
森 伸也（阪大）
佐野伸行（筑波大）
林 洋一（ラピスセミコンダクタ）
羽根正巳（ルネサスエレクトロニクス）
高篠裕行（ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング）
相馬聡文（神戸大）
野田泰史（パナソニック）
小田嘉則（アドバンスソフト）
中野誠彦（慶大）
廣木彰（京都工繊大）

接合技術研究会

委員長

柴田　聡（パナソニック）

幹事

伊藤裕之（バリアンセミコンダクター）
筒井一生（東工大）
大内和也（キオクシア）
右田真司（産総研）
和田涼太（日新イオン機器）
峰地輝（住友重機イオンテクノロジー）
加藤慎一（SCREENセミコンダクターソリューションズ）
岡本浩樹（キオクシア）
山口直（ルネサスエレクトロニクス）
品田賢宏（東北大）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

寒川誠二（東北大）

幹事

山崎　聡（産総研）
増田　淳（産総研）
深津　晋（東大）
森江　隆（九工大）
藤原　聡（NTT）
三木一司（兵庫県立大）
水田　博（サザンプトン大／北陸先端大）
二瓶史行（NEC）
浦岡行治（奈良先端大）
阪本利司（NEC）
伊藤公平（慶大）
斎木敏治（慶大）
村山明宏（北大）
宇佐美徳隆（名大）
宮本良之（産総研）
種村眞幸（名工大）
肥後 昭男（東大）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

近藤博基（名古屋大）

幹事

木下啓藏（アイオーコア）
一木隆範（東大）
佐々木俊行（キオクシア）
平田瑛子（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
谷本明佳（日立製作所）
布村正太（産総研）
江利口浩二（京大）

講演会大分類「13半導体」プログラム委員

幹事

齋藤真澄（キオクシア）
小林正治（東大）

VLSIシンポジウム委員

幹事

山川真弥（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
竹内健（中央大）

Silicon Nanoelectronics Workshop委員

幹事

入沢寿史（産総研）

ＳＤＲＪ委員会

幹事

林 喜宏（産総研）