歴代組織
2007年度第9期本分科会の組織
常任幹事会
- 幹事長
- 須田良幸（東京農工大）
- 副幹事長
- 宮崎誠一（広島大）
辰巳哲也（ソニー）
- 常務幹事
-
- 会計
- 杉山芳弘（富士通研)
松井真二（兵庫県立大）
- 庶務
- 近藤英一（山梨大）
筒井一生（東工大）
- 業務
- 研究集会：羽根正巳（NEC）、小野崇人（東北大）
出 版：清田幸弘（ソニー）、稲葉聡（東芝）
HP/会員：古澤健志（ルネサス）、浦岡行治（奈良先端科学技術大）
リソグラフィー研究委員会
- 委員長
- 井谷俊郎（Selete）
- 幹事
- 若宮瓦（Selete）
堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
宮本恭幸（東工大）
ULSIデバイス研究委員会
- 委員長
- 平本俊郎（東京大）
- 幹事
- 寺内衛（広島市大）
竹内潔（NEC）
岩松俊明（ルネサス）
坂本邦博（産総研）
室田淳一（東北大）
土屋龍太（・坥ｧ）
高木信一（東京大）
藤原実（東芝）
表面・界面・シリコン材料研究委員会
- 委員長
- 廣瀬和之（宇宙研）
- 幹事
- 金田千穂子（富士通研）
末岡浩治（岡山県立大）
棚橋克人（富士通研）
井上直久（大阪府大）
酒井郎（名古屋大）
野平博司（武蔵工大）
藤岡洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
中川清和（山梨大）
影島博之（NTT)
多層配線システム研究委員会
- 委員長
- 新宮原正三（関西大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 内田恭敬（帝京科大）
益一哉（東工大）
近藤誠一（SELETE）
蓮沼正彦（東芝）
上野和良（芝浦工大）
モデリング研究委員会
- 委員長
- 小田中紳二（大阪大）
- 幹事
-
- 研究集会
- 大倉康幸（Selete）
園田賢一郎（ルネサス）
- 出版
- 広木彰（京都工繊大）
- 学術講演
- 小川真人（神戸大）
岡秀樹（富士通研）
石川清志（ルネサス）
鳥谷部達（東洋大）
森伸也（大阪大）
佐野伸行（筑波大）
小田嘉則（松下）
松澤一也（東芝）
接合技術研究会
- 委員長
- 水野文二（UJTラボ）
- 幹事
- 水島一郎（東芝）
岩井洋（東・H大）
黒井隆 (ルネサス）
伊藤裕之 (UJTラボ）
大内和也 (東芝）
青山敬幸（Selete）
Siナノテクノロジー研究委員会
- 委員長
- 小田俊理（東工大）
- 幹事
- 深津晋（東京大）
越田信義（東京農工大）
三木一司（物質・材料研究機構）
寒川誠二（東北大）
高橋康夫（北海道大）
水田博（東工大）
波多野睦子（日立）
山崎聡（産総研）
ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会
- 委員長
- 一木隆範（東京大）
- 幹事
- 堀勝（名古屋大）
石田誠（豊橋技術科学大）
羽根一博（東北大）
木下啓蔵（Selete）
林久貴（東芝）
森政士（日立）
高村禅（北陸先端科学技術大）
