歴代組織

2007年度第9期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

須田良幸（東京農工大）

副幹事長

宮崎誠一（広島大）
辰巳哲也（ソニー）

常務幹事

会計

杉山芳弘（富士通研)
松井真二（兵庫県立大）

庶務

近藤英一（山梨大）
筒井一生（東工大）

業務

研究集会：羽根正巳（NEC）、小野崇人（東北大）
出　　版：清田幸弘（ソニー）、稲葉聡（東芝）
HP/会員：古澤健志（ルネサス）、浦岡行治（奈良先端科学技術大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

井谷俊郎（Selete）

幹事

若宮瓦（Selete）
堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
宮本恭幸（東工大）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

平本俊郎（東京大）

幹事

寺内衛（広島市大）
竹内潔（NEC）
岩松俊明（ルネサス）
坂本邦博（産総研）
室田淳一（東北大）
土屋龍太（・坥ｧ）
高木信一（東京大）
藤原実（東芝）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（宇宙研）

幹事

金田千穂子（富士通研）
末岡浩治（岡山県立大）
棚橋克人（富士通研）
井上直久（大阪府大）
酒井郎（名古屋大）
野平博司（武蔵工大）
藤岡洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
中川清和（山梨大）
影島博之（NTT)

多層配線システム研究委員会

委員長

新宮原正三（関西大）

幹事

学術講演

内田恭敬（帝京科大）
益一哉（東工大）
近藤誠一（SELETE）
蓮沼正彦（東芝）
上野和良（芝浦工大）

モデリング研究委員会

委員長

小田中紳二（大阪大）

幹事

研究集会

大倉康幸（Selete）
園田賢一郎（ルネサス）

出版

広木彰（京都工繊大）

学術講演

小川真人（神戸大）
岡秀樹（富士通研）
石川清志（ルネサス）
鳥谷部達（東洋大）
森伸也（大阪大）
佐野伸行（筑波大）

小田嘉則（松下）
松澤一也（東芝）

接合技術研究会

委員長

水野文二（UJTラボ）

幹事

水島一郎（東芝）
岩井洋（東・H大）
黒井隆 (ルネサス）
伊藤裕之 (UJTラボ）
大内和也 (東芝）
青山敬幸（Selete）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

小田俊理（東工大）

幹事

深津晋（東京大）
越田信義（東京農工大）
三木一司（物質・材料研究機構）
寒川誠二（東北大）
高橋康夫（北海道大）
水田博（東工大）
波多野睦子（日立）
山崎聡（産総研）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範（東京大）

幹事

堀勝（名古屋大）
石田誠（豊橋技術科学大）
羽根一博（東北大）
木下啓蔵（Selete）
林久貴（東芝）
森政士（日立）
高村禅（北陸先端科学技術大）