歴代組織

2000年度第2期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

服部健雄（武蔵工大）

副幹事長

今井和雄（NTT）

常務幹事

会計

河合義夫（NTT）
金田千穂子（富士通）

庶務

廣瀬和之（宇宙研）
高木信一（東芝）

業務

内田恭敬（帝京科学大）
須田良幸（農工大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

岡崎信次（ASET）

幹事

寺澤恒男（日立）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

小柳光正（東北大）

幹事

鳥海明（東芝）
池田浩一（ソニー）
奥村喜紀（三菱電機）
川浦久雄（NEC）
水野文二（松下電器）
山下朋弘（三菱電機）

Si新機能デバイス研究委員会

委員長

越田信義（農工大）

幹事

宮尾正信（日立）
財満鎮明（名大）
平本俊郎（東大）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

津屋英樹（住友シチックス）

幹事

宮崎誠一（広大）
佐野正和（住友シチックス）

多層配線システム研究委員会

委員長

堀池靖浩（東大）

幹事

木村紳一郎（日立）