歴代組織
2002年度第4期本分科会の組織
常任幹事会
- 幹事長
- 小柳光正（東北大）
- 副幹事長
- 西村正（MELCO）
木村紳一郎（日立）
- 常務幹事
-
- 会計
- 佐竹秀喜（東芝）
水野文二(松下電器）
- 庶務
- 平本俊郎（東大）
小川真人（神戸大）
- 業務
-
- 学術講演
- 木村紳一郎（日立）
- 研究集会
- 野平博司（武蔵工大）
坂本邦博（産業技術総研）
- 出版
- 橋詰保（北大）
赤澤正道（北大）
- HP/会員
- 冬木隆（奈良先端大）
藤岡洋（東大）
リソグラフィー研究委員会
- 委員長
- 岡崎信次（ASET）
- 幹事
-
- 研究集会
- 河合義夫（信越化学）
寺澤恒男（日立）
堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
ULSIデバイス研究委員会
- 委員長
- 鳥海明（東大）
- 幹事
-
- 出版
- 土屋敏章（島根大）
- 学術講演
- 村上英一（日立）
寺内衛（広島市大）
川浦久雄（NEC）
池田浩一（ソニー）
前田辰郎（産業技術総研）
前田茂伸（三菱電機）
高木信一（東芝）
Si新機能研究委員会
- 委員長
- 越田信義（東京農工大）
- 幹事
-
- 企画
- 宮尾正信（九大）
財満鎮明（名大）
- 企画
- 平本俊郎（東大）
- 庶務
- 須田良幸（東京農工大）
- 研究集会
- 野崎真次（電通大）
山田由佳（松下電器）
- 出版
- 中川清和（山梨大）
- 学術講演
- 山口伸也（日立中研)
表面・界面・シリコン材料研究委員会
- 委員長
- 井上直久（大阪府大）
- 幹事
-
- 出版
- 羽路伸夫（横国大）
- 学術講演
- 廣瀬和之（宇宙研）
宮崎誠一（広島大）
金田千穂子（富士通研）
末岡浩治（三菱住友シリコン）
影島博之（ＮＴＴ）
多層配線システム研究委員会
- 委員長
- 益一哉（東工大）
- 幹事
-
- 学術講演
- 内田恭敬（帝京科大）
一木隆範（東洋大）
上野和良（NEC）
本間哲哉（芝浦工大）
モデリング研究委員会
- 委員長
- 西謙二（Selete）
- 幹事
-
- 研究集会
- 和田哲典（東芝）
- 出版
- 松澤一也（東芝）
- 学術講演
- 羽根正巳（NEC）
真壁利明（慶応大）
接合技術研究会
- 委員長
- 岩井洋（東工大
- 幹事
-
- 学術講演
- 大見俊一郎（東工大）
河村誠一郎（富士通）
芝原健太郎（広島大）
水島一郎(東芝）
清田幸弘(日立）
Siナノテクノロジー研究委員会
- 委員長
- 小田俊理（東工大）
- 幹事
-
- 研究集会
- 深津晋（東大）
- 出版
- 山崎聡（JRCAT）
- 学術講演
- 波多野睦子（日立）
三木一司（産業技術総研）
寒川誠二（東北大）
