歴代組織

2002年度第4期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長
小柳光正(東北大)
副幹事長
西村正(MELCO)
木村紳一郎(日立)
常務幹事
会計
佐竹秀喜(東芝)
水野文二(松下電器)
庶務
平本俊郎(東大)
小川真人(神戸大)
業務
学術講演
木村紳一郎(日立)
研究集会
野平博司(武蔵工大)
坂本邦博(産業技術総研)
出版
橋詰保(北大)
赤澤正道(北大)
HP/会員
冬木隆(奈良先端大)
藤岡洋(東大)

リソグラフィー研究委員会

委員長
岡崎信次(ASET)
幹事
研究集会
河合義夫(信越化学)
寺澤恒男(日立)
堀内敏行(東京電機大)
渋谷眞人(東京工芸大)

ULSIデバイス研究委員会

委員長
鳥海明(東大)
幹事
出版
土屋敏章(島根大)
学術講演
村上英一(日立)
寺内衛(広島市大)
川浦久雄(NEC)
池田浩一(ソニー)
前田辰郎(産業技術総研)
前田茂伸(三菱電機)
高木信一(東芝)

Si新機能研究委員会

委員長
越田信義(東京農工大)
幹事
企画
宮尾正信(九大)
財満鎮明(名大)
企画
平本俊郎(東大)
庶務
須田良幸(東京農工大)
研究集会
野崎真次(電通大)
山田由佳(松下電器)
出版
中川清和(山梨大)
学術講演
山口伸也(日立中研)

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長
井上直久(大阪府大)
幹事
出版
羽路伸夫(横国大)
学術講演
廣瀬和之(宇宙研)
宮崎誠一(広島大)
金田千穂子(富士通研)
末岡浩治(三菱住友シリコン)
影島博之(NTT)

多層配線システム研究委員会

委員長
益一哉(東工大)
幹事
学術講演
内田恭敬(帝京科大)
一木隆範(東洋大)
上野和良(NEC)
本間哲哉(芝浦工大)

モデリング研究委員会

委員長
西謙二(Selete)
幹事
研究集会
和田哲典(東芝)
出版
松澤一也(東芝)
学術講演
羽根正巳(NEC)
真壁利明(慶応大)

接合技術研究会

委員長
岩井洋(東工大
幹事
学術講演
大見俊一郎(東工大)
河村誠一郎(富士通)
芝原健太郎(広島大)
水島一郎(東芝)
清田幸弘(日立)

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長
小田俊理(東工大)
幹事
研究集会
深津晋(東大)
出版
山崎聡(JRCAT)
学術講演
波多野睦子(日立)
三木一司(産業技術総研)
寒川誠二(東北大)

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