歴代組織

2008年度第10期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長

須田良幸（東京農工大）

副幹事長

宮崎誠一（広島大）
辰巳哲也（ソニー）

常務幹事

会計

松井真二（兵庫県立大）
蓮沼正彦（東芝）

庶務

筒井一生（東工大）
森　伸也（大阪大）

業務

研究集会：小野崇人（東北大）、竹内　潔（NECEL）
出　版：稲葉　聡（東芝）、青山敬幸（Selete）
HP/会員：浦岡行治（奈良先端科学技術大）、伊藤公平（慶應義塾大）

リソグラフィー研究委員会

委員長

井谷俊郎（Selete）

幹事

堀内敏行（東京電機大）
渋谷眞人（東京工芸大）
宮本恭幸（東工大）
廣島　洋（産総研）

ULSIデバイス研究委員会

委員長

平本俊郎（東京大）

幹事

寺内　衛（広島市大）
岩松俊明（ルネサス）
坂本邦博（産総研）
室田淳一（東北大）
土屋龍太（日立）
高木信一（東京大）
藤原　実（東芝）
福留秀暢（富士通研）
若林　整（ソニー）
三浦規之（沖電気）

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長

廣瀬和之（宇宙研）

幹事

金田千穂子（富士通研）
末岡浩治（岡山県立大）
井上直久（大阪府大）
酒井　朗（大阪大）
野平博司（武蔵工大）
藤岡　洋（東京大）
羽路伸夫（横浜国大）
中川清和（山梨大）
影島博之（NTT)
深田直樹（物材機構）
泉妻宏治（コバレントマテリアル）

多層配線システム研究委員会

委員長

新宮原正三（関西大）

幹事

学術講演

内田恭敬（帝京科大）
益一哉（東工大）
近藤誠一（Selete）
上野和良（芝浦工大）
古澤健志（ルネサス）
近藤英一（山梨大）

モデリング研究委員会

委員長

小田中紳二（大阪大）

幹事

研究集会

小川真人（神戸大）

出版

広木　彰（京都工繊大）

学術講演

岡　秀樹（富士通研）
鳥谷部達（東洋大）
小田嘉則（松下）
大倉康幸（Selete)
松澤一也（東芝）
佐野伸行（筑波大）
園田賢一郎（ルネサス）
羽根正巳（NECEL)

接合技術研究会

委員長

水野文二（UJTラボ）

幹事

水島一郎（東芝）
伊藤裕之（バリアンセミコンダクター）
大内和也（東芝）
川崎洋司（ルネサステクノロジ）
獅子口清一（NECEL)
清田幸弘（ソニー）

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長

小田俊理（東工大）

幹事

深津　晋（東京大）
越田信義（東京農工大）
三木一司（物材機構）
寒川誠二（東北大）
高橋康夫（北海道大）
水田　博（サザンプトン大/東工大）
波多野睦子（日立）
山崎　聡（産総研）
遠藤哲郎（東北大）
二瓶史行（NEC)
遠藤和彦（産総研）

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長

一木隆範（東京大）

幹事

堀　勝（名古屋大）
石田　誠（豊橋技術科学大）
羽根一博（東北大）
木下啓蔵（Selete）
田中潤一（日立）
酒井伊都子（東芝）
高村　禅（北陸先端科学技術大）